1、吸收設備

　　吸收法采用低揮發或不揮發性溶劑對VOCs進行吸收,再利用 VOCs和吸收劑物理性質的差異進行分離,,含 VOCs的氣體自吸收塔底部進入塔內,在上升過程中與來自塔頂的吸收劑逆流接觸 ,凈化后的氣體由塔頂排出,吸收了VOCs的吸收劑通過熱交換器后,進入汽提塔頂部,在溫度高于吸收溫度或壓力低于吸收壓力的條件下解吸, 解吸后的吸收劑經過冷溶劑冷凝器后回到吸收塔。姐吸出VOCs氣液分離器后以較純的VOCs氣體高開氣提塔,被回收利用,該工藝適合于VOCs濃度較高、 溫度較低的氣體凈化,其他情況下需要作相應的工藝調整。

　　2、吸附設備

　　在用多孔性固體物質處理流體混合物時，流體中的某已組分或某些組分可被吸表面并濃集其上，此現象稱為吸附。吸附處理廢氣時，吸附處理廢氣時,吸附的対象是氣態污染物 ,氣固吸附。被吸附的氣體組分稱為吸附質,多孔固體物質稱為吸附劑。

　　固體表面吸附了吸附質后 ,一部分吸附的吸附質可從吸附質表面脫離，此現附。而當吸附進行一段時間后,由于表面吸附質的濃集, 使其吸附能力明顯下降而吸附前的要求,此時需要用   的措施使吸附劑上已吸附的吸附質脫附,以協的吸附能力,這個過程稱為吸附劑的   。因此在實際吸附工程中,正是利用吸附一   一再吸附的循環過程 ,達到除去廢氣中污染物質并回收廢氣中有用組分。

　　3、廢氣的燃燒及催化浄化設備

　　燃燒法用于處理 Voc與有惡臭的化合物很   .其原理是用過量的空氣使這些雜質燃燒，大多數生成二氧化碳和水蒸氣.可以排放到大氣中.但當處理含氫和含硫的化合物時.燃燒生成產物中 HCl或 S〇2 ,需要對燃燒后氣體進一步處理。