等離子清洗機常見的加工工藝氣體有co2、氬氣、N2、空氣壓縮、二氧化碳、氡氣、四氟化碳等。它是將氣體弱電解質(zhì)造成等離子體對產(chǎn)品工件開展表面解決,不論是開展清理還是表面活性,為達(dá)到更好的解決實際效果會采用不一樣的加工工藝氣體,那麼等離子清洗機的常見加工工藝氣體又該如何選擇呢?文中為大伙兒共享一下有關(guān)基本知識,供大伙兒參照。
co2是等離子清洗常見的活性氣體,歸屬于物理學(xué)+有機化學(xué)的處理方法,弱電解質(zhì)后造成的正離子體可以對表面開展物理學(xué)負(fù)電子,產(chǎn)生不光滑表面。另外高活性的氧離子可以與被斷鍵后的分子結(jié)構(gòu)鏈產(chǎn)生化學(xué)變化產(chǎn)生活性官能團(tuán)的親水性表面,做到表面活性的目地;被斷鍵后的有機化學(xué)空氣污染物的原素會與高活性的氧離子產(chǎn)生化學(xué)變化,產(chǎn)生CO、CO2、H2O等分子式擺脫表面,做到表面清理的目地。
co2關(guān)鍵運用于纖維材料表面活性及有機化學(xué)空氣污染物除去,但不適感用以易空氣氧化的金屬材料表面。真空泵等離子情況下的氧等離子展現(xiàn)淺藍(lán)色,一部分充放電標(biāo)準(zhǔn)下相近乳白色。充放電自然環(huán)境光源較為亮,人眼觀查時很有可能會出現(xiàn)看不見真內(nèi)腔身體有充放電的狀況。
氬氣是一種可塑性氣體,弱電解質(zhì)后造成的正離子體不容易與板材產(chǎn)生化學(xué)變化,在等離子清洗中關(guān)鍵被運用于板材表面的物理學(xué)清理及表面鈍化處理,較大的特性便是在表面清理中不容易導(dǎo)致高精密電子元器件的表面空氣氧化。正是如此,氬等離子清洗機在半導(dǎo)體材料、微電子技術(shù)、晶圓制造等制造行業(yè)被廣泛運用。
氬氣在真空泵等離子清洗機中被弱電解質(zhì)所造成的等離子體呈深紅色。在同樣的充放電自然環(huán)境下,氡氣和N2所造成的等離子體色調(diào)全是呈鮮紅色,但氬等離子體的色度會小于N2且高過氡氣,還是比較好區(qū)別的。
氬氣與氡氣混和運用在打線和打鍵加工工藝中,除提升焊層表面粗糙度外,還能夠合理除去焊層表面的有機化學(xué)空氣污染物,另外對表面的輕度空氣氧化開展復(fù)原,在半導(dǎo)體封裝和SMT等制造行業(yè)中被廣泛運用。
氡氣與co2相近,歸屬于高活性氣體,能夠 對表面開展活性及清理。氡氣與co2的差別主要是反映后產(chǎn)生的活性官能團(tuán)不一樣,另外氡氣具備氧化性,可用以金屬材料表面的外部經(jīng)濟空氣氧化層除去且不容易對表面比較敏感有機化學(xué)層導(dǎo)致毀壞。因此 在微電子技術(shù)、半導(dǎo)體材料及pcb線路板生產(chǎn)制造制造行業(yè)應(yīng)用范圍廣。
因氡氣為危險因素氣體,未被弱電解質(zhì)時與co2匯聚會產(chǎn)生自暴,因此 在等離子清洗機中一般是嚴(yán)禁二種氣體混和應(yīng)用的。真空泵等離子情況下氫等離子呈鮮紅色,與氬等離子相近,要同樣的充放電自然環(huán)境下比氬等離子色調(diào)略深。
N2弱電解質(zhì)產(chǎn)生的等離子體可以與一部分分子式產(chǎn)生鍵合反映,因此 也是一種活性氣體,但相對性于co2和氡氣來講,其顆粒較為重,一般狀況下到等離子清洗機運用時會把此氣體定義在活性氣體co2、氡氣與可塑性氣體氬氣中間的一種氣體。在清理活性的另外可以做到一定負(fù)電子、離子注入的實際效果,另外可以避免 一部分金屬材料表面出現(xiàn)空氣氧化。N2與別的氣體組成產(chǎn)生的等離子體一般會被運用于一些材料的解決。真空泵等離子情況下氮等離子也是呈鮮紅色,在同樣的充放電自然環(huán)境下,氮等離子會比氬等離子和氫等離子更亮一些。
