臭氧的制備原理：無聲放電法（氣相中放電和液相中放電兩種），水處理中多采用氣相中放電。石墨和不銹鋼作為電極。

無聲放電原理：由于介電體的阻礙，只有極小的電流通過電場，即在介電體表面的凸點上發生局部放電。

    在放電高速電子流的轟擊下：O₂ ? 2O     3O ? O₃ 或O＋O₂ ? O₃

由于生成的臭氧的分解，生成的臭氧一般只占空氣的0.6－1.2％（體積比）。

氧氣生產臭氧的總反應式：

3O₂ ® 2O₃---- 288.9 kJ（或144.4 kJ/mol-O₃）

每生產1kg O₃ 需要消耗0.836kWh

由于95%左右的電能變成光能和熱能

實際電耗：15－20 kWh/kg-O₃

無聲放電臭氧發生器：分為板式電極和管式電極兩種。

   如何排出放電時產生的熱量，冷卻是提高臭氧產量的關鍵。臭氧產量與電壓的二次方成正比。但電壓過高，耗電量大，介電體容易被擊穿，一般電壓為：10－15kV。提高交流電的頻率，可增加放電次數，從而可提高臭氧的產量。放電間隙越小，越容易放電，產生無聲放電所需的電壓越小，耗電量越小，但間歇過小，介點體或電極表面要求越高，管式一般2－3.5mm。