詳細介紹
特征
非色散固態紅外檢測器,高精度,高分辨率
- 可編程通過功率及電流控制的脈沖電極爐
- 分析精度及準確度精確至ppm級別
- 低空白值,配置適合硅片進樣的進樣口
- 配置具有安全保護性能的試劑容器
- 儀器全新的氣路設計需要更少的維修
- 氧含量輸入采用ppma格式
- Windows® 操作系統
特點及優勢
試樣的進樣系統設計可連續樣品加載,低大氣空白和高載氣純度。在進樣系統的滑槽式的設計中,硅片可連續進樣。
雙密封,磁加載機械機構以及集成的氧/水氣捕集器,使得進樣系統實現零大氣污染,并保持的載氣氣體的純度。