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300W小型自動(dòng)匹配型射頻電源RF-300I-LD

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沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

300W小型自動(dòng)匹配型射頻電源RF-300I-LD

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介：RF-300I-LD 300W小型自動(dòng)匹配型射頻發(fā)生器主要適用于我公司制造的VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀和VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀。RF-300I-LD 300W小型自動(dòng)匹配型射頻發(fā)生器在工作時(shí)將自動(dòng)匹配器和13.56MHz的射頻電源集成在一起，可以自動(dòng)匹配容抗和感抗，使得安裝和操作更加方便容易；輸入功率可根據(jù)需要自行進(jìn)行調(diào)整，調(diào)整范圍在5W-300W；冷卻過程采用空氣冷卻，無需采用其它冷卻設(shè)備，節(jié)約了設(shè)計(jì)成；噪音極低，對環(huán)境幾乎無污染。RF-300I-LD 300W小型自動(dòng)匹配型射頻發(fā)生器配用本司的磁控濺射頭可自行搭建磁控濺射鍍膜儀對樣品進(jìn)行鍍膜操作。

產(chǎn)品型號	300W小型自動(dòng)匹配型射頻電源RF-300I-LD
技術(shù)參數(shù)	1、電源：AC 110V-240V 50Hz/60Hz 2、輸入功率：5W-300W（可調(diào)），穩(wěn)定性±1% 3、射頻頻率：13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005% 4、匹配：自動(dòng)匹配，空氣電容 5、冷卻：空氣冷卻 6、噪音：<50dB
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：480mm×400mm×140mm
可選配件	1、2"高真空磁控濺射頭，可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀。 2、同時(shí)購買300W射頻發(fā)射器和2"磁控濺射頭時(shí)，本司贈(zèng)送1個(gè)高真空快速接頭。接頭內(nèi)徑為0.75"，可將濺射　頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1"，真空腔體的壁厚不得大于1"。 3、循環(huán)水冷機(jī)，流量為16L/min，水箱容積為6L。