奧林巴斯半導體檢測顯微鏡 MX61L/MX61系統（無限遠校正光學系統）

12V100W鹵素燈泡（預定心型） 明視場/暗視場反射鏡可外加1個分光鏡組（選配） ，轉換使用內置電動孔徑光闌（每個物鏡可預設，物鏡轉換時自動轉換，暗視場觀測時自動打開）

超寬場正像傾斜式三目鏡筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型或U-SWETTR型（MX-SWETTR是MX61L的標準配置）

奧林巴斯MX61顯微鏡，①反射光明視場法；②反射光暗視場法；③反射光諾曼爾斯基微分干涉襯比法；④反射光簡單偏振法；⑤反射光熒光法；⑥反射光照明法（IR）⑦透射光明視場法；⑧透射光簡單偏振法③/④/⑤需要專門的分光鏡組。⑦/⑧需要與透射光照明部件配合使用。

奧林巴斯半導體檢測顯微鏡 MX61L/MX61 為用戶提供高效率。

MX61適用于大200mm的樣本，而MX61L則可適用于大300mm的樣本。

1、大型載物臺搭載：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圓全面檢查(MX61L)。

2、采用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利。

3、多種觀察方式，多種照明方式，多種附件以滿足不同應用要求。

4、透射和反射照明可同時使用，*提高液晶基板觀察效果。