廢氣處理設備常用的廢氣處理方法有吸附法、吸附法、催化燃燒法、熱燃燒法等。在選擇凈化方法時，應根據縣具體情況選擇成本低、能耗少、無二次污染的方法，盡量做損益，充分回收利用部件和余熱。在大多數情況下，由于石化行業尾氣濃度高，采用冷凝、吸收、直接燃燒等方法。涂料施工、印刷等行業由于廢氣濃度低，采用吸附、催化燃燒等方法。
為了滿足顆粒物的排放標準，垃圾焚燒設施使用的除塵器通常有旋風除塵器、袋式除塵器和靜電除塵器。
(1)旋風除塵器旋風除塵器是由離心力和重力沉降作用產生的強制渦流，并將廢氣中的顆粒污染物去除。旋流器的凈化效率約為65%~80%。對10μm以上顆粒污染物有效，10μm以下顆粒污染物效果較差。由于煙氣的高速流動，旋風分離器的能量損失很大，而且容易產生腐蝕現象。旋風除塵器可作為大型垃圾焚燒廠的一次除塵器。
(2)布袋式除塵器布袋式除塵器是使煙氣通過濾袋，讓顆粒污染物附著在濾層上，然后通過有規律的振動、氣流反沖洗或脈沖沖洗的方式，除去附著在濾袋上的顆粒污染物。除塵效果與煙氣流量、溫度、含水量、含塵量和濾料有關，其效率一般可達90%以上。
(3)靜電除塵器
電除塵器是利用高壓負極產生電暈效應，釋放電子，使經過的煙氣電離，煙氣中的粉塵顆粒形成電荷，通過除塵器的正極板進行吸附和中和。待適當時間后，錘擊板子，使粉塵顆粒附著在板子上并掛起集塵漏斗。電除塵器的除塵效果與煙氣流量、粉塵粒徑分布、黏聚力、比阻、電極板距離、電壓、電流等有關，一般可達90%以上。
工業廢氣處理設備,高壓低溫等離子體放電,電吸附有害有毒氣體抽板,打開分子鍵疊加脈沖的作用下,自由基,釋放臭氧活化,通過化學反應,自由組合,產生二氧化碳和水,并對人體無害的同時,也在之前和之后的設備設置各種過濾材料,根據不同的排氣裝置，確保充分的凈化效果。
光催化是一種室溫深度反應技術。光催化氧化可以在室溫下將水、空氣和土壤中的有機污染物氧化成無毒無害的產品，而傳統的高溫焚燒技術需要的溫度才能破壞污染物，即使采用傳統的催化和氧化方法也需要幾的高溫。
從理論上講，只要半導體吸收的光不小于它的帶隙能量，足以激發電子和空穴，就可以使用半導體作為光催化劑。常見的單化合物光催化劑大多是金屬氧化物或硫化物，如Ti0。、Zn0、ZnS、cd、PBS等。這些催化劑對于特定的反應有突出的優勢，可以根據具體的研究需要選擇。例如CDS半導體帶隙能量較小，與太陽光譜中近紫外光段的匹配性能較好，可以很好地利用自然光能。然而，它容易發生光腐蝕，使用壽命有限。相對而言，Ti02具有較好的綜合性能，是目前應用和研究泛的單一復合光催化劑。
