催化燃燒法是使用不同種類的催化劑，利用其可以降低反應活化能的原理，使VOCs在溫度比較低的情況下，將其全部氧化為CO2和H2O，一般當溫度控制在300℃~450℃的范圍內，大部分碳氫化合物可在被其氧化，并且去掉率不錯，但是催化劑有的使用壽命，且在催化劑的使用過程中，廢氣的濕度和種類對催化劑的催化氧化效果有很關鍵的影響，如果廢氣中出現其他物質，很可能會引發催化劑的中毒，故的催化劑應具備高活化能力、高熱穩定能力和水熱穩定能力等特點，目前應用比多的金屬氧化物催化劑有Pd、Pt、Rh、Au、Mn、Co、Ce，而其中Pd、Pt、Rh、Au為貴金屬。然而貴金屬有價格昂貴、且易燒結等缺點，因而制造新型復合型催化劑是未來的方向。
催化燃燒設備人工加油潤滑裝置結構簡單，主要應用在一般機械設備的分散潤滑部位。人工加油潤滑，潤滑劑利用率低。一般用于低負荷、低速摩擦副的潤滑。常用的人工加油潤滑裝置已標準化。
該裝置主要適用于不宜采用直接燃燒或催化燃燒法及吸附回收法處理的有用廢氣，對大風量、低濃度的處理場合，可獲得滿意的處理效果。催化燃燒設備主要由活性炭吸附箱、阻火器、熱交換器，催化反應床，風機這幾個主要部件組成。與直接燃燒相比，催化燃燒溫度較低，燃燒比較全部。
催化燃燒用的是表面具有貴金屬和金屬氧化物的催化劑，將有用污染物的廢氣在催化劑鉑、鈀的作用下，可以在較低的溫度下將廢氣中的有用污染物氧化成二氧化碳和水。催化劑的加入并不能改變原有的化學平衡，所改變的僅是化學反應的速度，而在反應前后，催化劑本身的性質并不發生變化。
催化燃燒設備主要由熱交換器、燃燒室、催化反應器、熱回收系統和凈化煙氣的排放煙囪等部分組成，其凈化原理是：未凈化氣體在進入燃燒室以前，先經過熱交換器被預熱后送至燃燒室，在燃燒室內達到所要求的反應溫度，氧化反應在催化反應器中進行，凈化后煙氣經熱交換器釋放出部分熱量，再由煙囪排入大氣。由于催化燃燒為不可逆的放熱反應，所以，無論反應進行到什么階段，都應在盡可能高的溫度下進行，以獲得較不錯的轉化速度。但操作溫度往往受某些條件的限制，如催化劑的不怕熱溫度、高溫材料的獲得，熱能的供應，以及是否伴有副反應等。因而實際生產中應根據實際情況恰當的選擇。
催化燃燒設備是一種采用靜電凈化法收集煙氣中粉塵的裝置。是凈化工業廢氣的理想設備。凈化工作主要依靠電放置和沉淀兩個系統。當高壓直流在電之間輸入時，在電空間中產生陰離子和陽離子，通過靜電場作用于廢氣顆粒表面，在電場作用下移動到性相反的電上，并沉積在電上以達到除塵目標。當振動錘周期性地撞擊桿裝置時，附著在其上的灰塵被磨掉，并通過除灰裝置落入機器的下部灰斗。凈化后的廢氣通過煙囪從出入口排放到大氣中，完成煙氣凈化過程。
在工業生產過程中，排放的尾氣通過引風機進入設備的旋轉閥，通過旋轉閥將氣體和出入口氣體分開。經催化氧化后的氣體進入其它的陶瓷填充層，回收熱能后通過旋轉閥排放到大氣中，凈化后排氣溫度僅略高于廢氣處理前的溫度。還可在進氣風管采用計量泵與蒸發器組合的方式，人為控制一些不可套用的廢溶劑的蒸發，在廢氣VOC較低時增加VOC濃度，以達到不使用燃料就能維持正常燃燒的目的，從而減少燃料消耗。
廢氣繼續通過加熱區(上層，可采用電加熱方式或自然氣加熱方式)升溫，并維持在設定溫度；其再進入催化層完成催化氧化反應，即反應生成CO2和H2O，并釋放大量的熱量，以達到預期的處理效果。氣體起先通過陶瓷材料填充層(底層)預熱后發生熱量的儲備和熱交換，其溫度幾乎達到催化層(中層)進行催化氧化所設定的溫度，這時其中部分污染物氧化分解。
