• 功能

• 低壓1MPa以下
  焊接規范金屬墊片
  配件集成規格

• 調節閥結構

• 針型

• 兼容氣體

• 7類特殊高壓氣體腐蝕性氣體，有毒氣體
  
  除外

• 標準流量

• ~60噸/分鐘

  
  

yutaka半導體制造用壓力控制設備L12系列

• 特點

  規范

  入口壓力	最大0.99MPa
  調節壓力（L12?L12H）	最大0.7MPa（量程規格0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.7MPa ）
  調節壓力（L12V）	量程規格 -0.08~0.1MPa， -0.08~0.2MPa
  耐壓壓力	1.5MPa （入口側）
  簡歷值	0.1
  工作溫度	-10~+40°C
  外部泄漏	1×10-11Pa?m3/秒?He （真空方式）
  質量	約 270g（1.125“ SEMI 規格）

• L12 系列是按照 1.25“ SEMI 標準設計的壓力調節器。

• 與集成供氣系統的 1.125 英寸和 1.5 英寸 W 和 C 密封件兼容。

• 還提供高流量和真空規格以及端面密封接頭類型。