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用于導(dǎo)電薄膜制造的濺射設(shè)備-臺式涂布機(jī)

時(shí)間:2021/5/27閱讀:1101
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 用于導(dǎo)電薄膜制造的濺射設(shè)備-臺式涂布機(jī)

 

特征

  • 直流濺射類別中系列中小的超緊湊機(jī)型
  • 小型濺射裝置,可以輕松地制造電極薄膜
  • 標(biāo)配間歇濺射功能
  • 使用的樣品臺和載物臺可以輕松更改TS之間的距離。

應(yīng)用/結(jié)果示例

  • 各種設(shè)備的電極膜附件
  • 用于制造反射薄膜等的應(yīng)用

基本規(guī)格

陰極φ2英寸/平板型電極
濺射靶包含金靶
氣體導(dǎo)入機(jī)制針閥
間歇功能標(biāo)配
真空泵直連式旋轉(zhuǎn)泵:20l / min(帶自動泄漏)
箱體尺寸內(nèi)徑φ90mmx D90mm(SUS制)
樣品交換方法前門開合式
尺寸(寬/深/高)主體:160/326 / 286mm RP:300/160 / 200mm
重量身體:10公斤RP:9公斤

 

SC-701MkⅡ進(jìn)階

products_a10s.jpg高規(guī)格緊湊型鍍膜機(jī),適用于各種金屬,例如鎳,鉻,鎢,鈦,鋁
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SC-701AT

SC-701AT只需設(shè)置樣本并等待。全自動濺射,膜厚可調(diào)。
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SC-701HMCⅡ

SC-701HMCⅡ磁控管類型適用于W / Ti / Cr等薄膜生產(chǎn)。微電腦控制/自動快門標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。
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SC-701MkⅡ

SC-701MkⅡ該系列中小的濺射,使電極薄膜的制造變得容易
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SC-701MC

SC-701MC使用對樣品友好的磁控管陰極。膜厚可控的全自動模型。
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SC-708系列

SC-708系列非常適合在大型基板上進(jìn)行薄膜制造以及PDMS的表面處理
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