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valcom壓力傳感器工作原理分析

時間:2024/9/12閱讀:512
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valcom壓力傳感器工作原理分析


半導體壓力傳感器的結構及工作原理說明

表壓傳感器芯片結構

傳感器芯片結構

硅壓力計是通過雜質擴散在硅芯片壓力傳感部分(硅膜片)中形成的,與普通IC制造工藝類似。
當對硅芯片施加壓力時,應變計電阻會根據偏轉而變化,并轉換為電信號。 (壓阻效應)
該應變計的特點是應變系數大。 (金屬規有2~3,硅規有10~100)。
因此,可以獲得高輸出,可以制造厚膜片并提高壓力傳感器的耐壓性。

目標型號

半導體壓力傳感器
VSW2(低壓用)等

半導體膜片壓力傳感器的結構及工作原理講解

半導體膜片壓力傳感器由直接與測量介質接觸的高耐腐蝕金屬膜片(相當于哈氏合金C-22、SUS316L等)和通過密封件檢測壓力的硅片(硅膜片)組成。硅油)使用雙隔膜系統。
SUS316L膜片(或哈氏合金C-22同等材料等)通過壓力入口與測量介質直接接觸,可以穩定地測量不浸透它的介質(空氣、水、油等)。 [當連接螺紋形狀為G3/8時,使用O型圈(氟橡膠)密封管道。 ]

特征

  • 我們可以制造各種可以測量正壓、負壓、復合壓力和絕對壓力的傳感器元件。

  • 與介質直接接觸的受壓部件材質相當于哈氏合金C-22,可用SUS316L制造,因此具有優異的耐腐蝕性。

  • 檢測壓力的硅芯片的膜片較厚,因此具有優異的耐壓性能。

目標型號

半導體膜片壓力傳感器
VESW、VESX、VESY、VESZ、VHR3、VHG3、VAR3、VAG3、VPNPR、VPNPG、VNF、HS1、HV1、AS1、AV1、NS1、NV1、VESI、VESV、VSW2、VST等

應變片式壓力傳感器的結構及操作說明

應變片式壓力傳感器的結構及操作說明

應變片式壓力傳感器的結構及操作說明

將左圖所示的電阻橋粘貼在受壓部的金屬膜片的背面,將施加壓力時金屬膜片的變形量作為電壓變化進行檢測。
由于金屬膜片表面有應變量高的地方和應變量少的地方,所以在四個地方粘貼了電阻,即使應變量不均勻也能正確檢測的結構。

特征

  • 沒有焊接或 O 形圈接頭,隔膜是一體式的,堅固耐用。

  • 可高精度、耐高溫(150℃)生產

目標型號

應變式壓力傳感器
VSD4、NSMS-A6VB、HSSC、HSSC-A6V、VHS、VHST、HSMC2、HSMC、VPE、VPB、VPRT、VPRTF、VPRQ、VPRQF、VPVT、VPVTF、VPVQ、VPVQF、VPRF、VFM、VF、 VFS、VTRF、VPRF2、VPRH2 等

薄膜壓力傳感器的結構及工作原理講解

薄膜壓力傳感器的結構及工作原理講解
測量原理

薄膜壓力傳感器的結構及工作原理講解

我們的薄膜壓力傳感器是隔膜式的,使用金屬壓力表薄膜。當從壓力入口施加壓力時,膜片變形,形成在膜片上的金屬儀表薄膜變形,導致檢測到的電阻變化。
它提供比應變計壓力傳感器更靈敏的輸出,并且還具有比半導體壓力傳感器更小的溫度系數。

特征

  • 由于溫度系數恒定,因此溫度特性非常好。

  • 提供長期穩定的輸出,幾乎不會隨著時間的推移而惡化

  • 可耐高溫(200℃)

目標型號

電壓開關2

測量原理

當有電流流向輸入端時,壓力會施加到金屬量規薄膜上,導致失真,表現為輸出側電信號的變化。



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