西安等離子廢氣處理檢修光氧等離子復合廢氣處理設備綜合采用了等離子廢氣凈化器和紫外光觸媒除臭廢氣凈化器兩種設備的優點組合而成，利用等離子分解技術和UV紫外光解技術結合，對廢氣和臭氣進行高效協同凈化處理。有機廢氣和惡臭氣體進入集成設備后，經過UV紫外光束區時，被紫外光波高能高效率地照射，瞬間產生光解反應，經過等離子體電場時，在納秒級時間范圍內，產生裂變分解反應，如此協同高效地產生一系光解和分解反應，經過多級凈化后從而達標排放。

光氧催化+低溫等離子設備分解
西安等離子廢氣處理檢修光氧催化模塊運用253.7納米波段光切割、斷鏈、燃燒、裂解廢氣分子鏈，改變分子結構，為一重處理；取185納米波段光對廢氣分子進行催化氧化，使破壞后的分子中子或原子以O3進行結合，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在催化氧化過程中，轉變成低分子化合物CO2、H2O等，為第二重處理；

再根據不同的廢氣成分配置27種以上相對應的惰性催化劑，催化劑采用蜂窩狀金屬網孔作為載體，方位與光源接觸，惰性催化劑在338納米光源以下發生催化反應，放大10-30倍光源效果，使其與廢氣進行充分反應，縮短廢氣與光源接觸時間，從而提高廢氣凈化效率，催化劑還具有類似于植物光合作用，對廢氣進行凈化效果，為第三重處理，通過三重處理后的廢氣其除臭可達99%以上，凈化、脫臭效果大大超過GB16297-1996《大氣污染物綜合排放標準》二級排放標準，GB14554-93《惡臭污染物排放標準》二級排放標準。