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上海民儀電子有限公司

日本ULVAC CFB-1600復(fù)合分子泵技術(shù)資料

時(shí)間:2022-11-18閱讀:73
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一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

        復(fù)合分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機(jī)械真空泵,是由渦輪分子泵和盤(pán)式牽引泵組合而成,它同時(shí)具有渦輪分子泵分子流時(shí)抽速大、壓縮比高,牽引泵高壓強(qiáng)時(shí)抽速大、壓縮比高的特點(diǎn),擴(kuò)展了分子泵的應(yīng)用范圍,廣泛應(yīng)用于光伏、照明、航天航空、半導(dǎo)體、能源、、激光、家電、材料、汽車、科研等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。

 

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

        復(fù)合分子泵對(duì)被抽氣體無(wú)選擇性、無(wú)記憶效應(yīng);由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

 

三、主要性能指標(biāo)

 

型號(hào)

CFB-1600

訂貨號(hào)

3155

3156

進(jìn)氣口法蘭

LF250

CF250

排氣口法蘭

KF50

抽氣速率

L/s

1600

壓縮比N2/H2

1×109/1×104

極限壓強(qiáng)

Pa

5×10-7

8×10-8   

電機(jī)轉(zhuǎn)速

rpm

21000

啟動(dòng)時(shí)間

min

<6

振動(dòng)值

μm

≤0.15

前極泵

L/s

15

冷卻水溫度

≤20

泵體烘烤溫度

<120

冷卻水流量

L/min

1

加熱器功率

W

<700

加熱器輸入電壓

V

AC220

安裝方向

垂直±5°

重量

kg

~39

 

四、特性曲線及安裝尺寸

 

 

CFB系列復(fù)合分子泵安裝尺寸表

 

型號(hào)規(guī)格

CFB-1600

進(jìn)氣口法蘭

LF250

CF250

D1

Ф290

Ф305

D2

Ф296

Ф296

D3

□183.8

□183.8

L1

161

161

L2

166

166

H1

394

394

H2

110

110

H3

142.5

142.5

H4

104

104

泵腿螺釘孔

4-M8

4-M8

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