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詳細(xì)摘要： 20年前，Hiden在國際期刊《Physics Today》今日物理學(xué)雜志發(fā)布了HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀，初期主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的特氣檢測，如毒性氣體...