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產品詳情
自動配氣系統主要用于對氣體的質量流量進行精密控制，配置出滿足需要的不同組份濃度的各種標準氣體。標準氣體配氣的方法包括稱重法、分壓法、靜態容量法、流量比混合法、滲透法、擴散法、體積比法等。該自動配氣系統采用流量比混合法，是一種動態配氣法，通過嚴格控制一定比例的組份氣體，并加以混合而制定標準氣體。與瓶裝標準氣相比，使用該方法能夠在同一配氣系統上，可以配置出滿足需要的不同組份濃度的各種標準氣，配制的目標組分標準氣體濃度可達10-9級且連續可調；可稀釋范圍寬，可以達到1/2000；系統不受環境溫度與壓力變化影 , 可以適用于配制高、低濃度的多種目標組分標準氣體，甚至包括爆炸性氣體 毒性氣體，具有很好的應用價值；采用氣體質量流量計控制每一路所需的原料氣體的流量，可以控制配制目標組分標準氣體的總流量，實現連續配制并供給目標組分標準氣體，使用方便、靈敏度高、精度高。
傳感器特點
使用方便
靈敏度高
精度高
主要應用
適用于配制高、低濃度的多種目標組分標準氣體，甚至包括爆炸性氣體 毒性氣體，具有很好的應用價值
技術指標
| 流量規格（N2） | （0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM （0~1，2，3，5，10，20，30）SLM |
| 準確度 | ±1.0% S.P . (≥35% F.S.) |
| ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) | |
| 線性 | ±0.5% F.S. |
| 重復精度 | ±0.2% F.S. |
| 工作壓差范圍 | 0.05~0.35Mpa 流量規格≤10SLM |
| 0.1~0.35Mpa 流量規格＞10SLM | |
| 溫度系數 | 零點：≤±0.05FS/℃; 調節時:≤±0.1FS/℃ |
| 耐壓 | 3MPa ≤2sec |
| 漏率 | 1×10-10pa.m3/sec He |
| 密封材料 | 氟橡膠; 金屬密封 |
| 工作環境溫度 | (5~45) ℃ |
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