產品詳情

GM-NSD-02是一款低能耗的硅基微熱板，可用于微型氣體傳感器或其他加熱型器件的研發(fā)。

GM-NSD-02包含有兩組焊點，一組為加熱絲的引出，一組為插齒狀測試電極。GM-NSD-02可耐受約700℃的熱處理，在經受熱處理之后仍可引線邦定，但加熱絲的阻值會有所上升，金屬的表面光澤度會有所降低。

傳感器特點

1、微熱板采用MEMS工藝制作，為金屬氧化物半導體氣體傳感器提供了一個可靠的平臺，能耗低、加熱響應快。

2、微熱板采用懸膜式結構，包含一層堅韌的二氧化硅膜，里層包覆S型鉑作為加熱絲為金屬氧化物提供合適的工作溫度。微熱板的使用溫度高達400℃，同時可根據鉑的電阻溫度系數計算核心區(qū)的溫度其熱響應時間只有數毫秒。

主要應用

可用于微型氣體傳感器或其他加熱型器件的研發(fā)

技術指標

關鍵參數

尺寸：1.0×1.0×0.3mm

 加熱絲材料：鉑

冷態(tài)阻值：85Ω±10%

熱響應時間：<10ms

工作電壓：<4V

失效電壓：≈5V

GM-NSD-02的芯片尺寸為：1.0×1.0×0.3mm，其中加熱區(qū)的面積為0.3×0.3mm，懸膜的尺寸為0.6×0.6mm