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萊特萊德(北京)純水設備技術股份有限公司

EDI超純水設備助力半導體元器件高質量生產

時間:2022-11-15閱讀:146

  電子元器件作為核心部件,是戰略性新興產業發展的重點領域之一,也是支撐新興產業發展的重點基礎產品。近年來,電子元器件產業發展勢頭迅猛,產業規模與質量效益同步實現,為經濟發展提供了強勁動力。

  電子元器件產業鏈的上游是原材料,主要包括光電材料、半導體材料、磁性材料等。在半導體生產中,超純水用于晶圓沖洗、化學稀釋、化工機械研磨、潔凈室環境的加濕等多種場合,超純水的質量直接關系到半導體的良品率。萊特萊德EDI超純水設備采用靶向離子交換系統去除超純水中的硼離子,同時連續穩定地生產高純度的超純水。目前廣泛應用于晶圓、電子芯片、集成電路、精密儀器、電鍍、試劑稀釋、氟化工等領域。

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  超純水設備采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法,將水中的導電介質去除,又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度。超純水設備的脫鹽核心部件為反滲透膜組件,系統設備通常由預處理部分、反滲透主機部分、后處理部分共同組成。EDI處理裝置廢水產出量少,不會對環境造成污染,具有非常高的環境效益和經濟效益。精混床經過技術升級后,無需任何操作即可穩定運行,出水水質可以滿足芯片生產用水的相關標準,降低企業的生產成本。

  萊特萊德EDI超純水設備產出超純水電阻率可達到18 MΩ*cm(25℃),符合半導體元器件生產用水需求。萊特萊德超純水設備可以連續穩定地制備品質優良的超純水,助力半導體企業的發展,從而幫助企業提高市場競爭力。


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