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深圳恒才機電設備有限公司
Atlas螺桿真空機組是節能減排效果非常好的真空系統,節能可達50%,在光電行業、半導體行業應用深受用戶好評。
光電真空系統-阿螺桿真空機組:真空領域和減排系統 Atlas螺桿真空機組應用領域: 分析儀器、化工、食品加工、發電解決方案、半導體、平板顯示、可再生能源(太陽能、LED照明、儲能等)、石材、印刷包裝、家具木材等行業。 半導體真空泵應用: 晶圓制造過程中的單晶拉晶、LoadLock、刻蝕、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴苛制程。 真空泵于半導體設備意義重大: 若半導體器件不同材料層之間混入氣體分子,會破壞器件的電學或光學性能,而真空系統可對芯片的性能和良率起決定性作用。 Atlas螺桿真空機擁有VSD和設定點控制功能,而常規的真空泵是不具備這樣的功能的,可根據實際所需真空水平或速度,提供需求的真空氣量,避免造成浪費,Atlas螺桿真空泵是真空領域的節能減排真空系統,節能可達50%,深受用戶好評。
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