在超純水系統中管材的選用也非常重要，既要能做到保證水質、又應該做到經濟合理。超純水系統中常用管材主要包括：PVC、SGP、SGP(RL)、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。

       一般在超純水制造區預處理階段多采用PVC管或SUS304管。設備面管一般采用內襯膠鋼管(SGPRL)，對于水泵等產生震動的動力設備周邊采用SUS304管；在一次純水階段主流程采用CPVC管或SUS304管。

       高壓泵與反滲透(RO)之間，由于壓力高所以必須采用SCH80的SUS304管及耐壓2.0MP*的法蘭。由于RO對水溫有一定的要求，因而一般在RO之前有熱交換器，其周邊也應該采用SUS304管；在超純水制造階段，主流程一般應采用SUS316管和CPVC管；

       拋光循環區主流程一般采用SUS316管(焊接連接，并要求雙面成型)和PVDF管，超純水回收管道采用CPVC管。在以上水處理各階段廢水排放管道均采用普通PVC管；在純水制造過程中酸堿等加藥管線，應采用耐沖擊PVC管；純水系統中使用的氮氣系統采用SUS304管，超純水拋光系統所用氮氣管道采用SUS316管；壓縮空氣系統在純水系統中作為氣動閥開關動力，一般采用SUS304管或SGP管，當采用SGP管時進入電氣盤前需加過濾器。