純水是指純凈水一般以城市自來水為水源，通過多層過濾，可將微生物等有害物質去除，但同時也去除了氟、鉀、鈣、鎂等人體所需的礦物質。
一、臭氧滅菌超純水處理
臭氧(O3)的消毒原理是：臭氧在常溫、常壓下分子結構不穩定，很快自行分解成氧氣(O2)和單個氧原子(O);后者具有很強的活性，對細菌有*的氧化作用，將其殺死，多余的氧原子則會自行重新結合成為普通氧原子(O2)，不存在任何有毒殘留物，故稱無污染消毒劑，它不但對各種細菌(包括肝炎病毒，大腸桿菌，綠濃桿菌及雜菌等)有*的殺滅能力，而且對殺死霉素也很有效。
1、臭氧的滅菌機制及過程類屬于生物化學過程，氧化分解了細菌內部氧化葡萄糖所必須的葡萄糖氧化酶。
2、直接與細菌、病毒發生作用，破壞其細胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA，蛋白質、脂質類和多糖等大分子聚合物，使細菌的物質代謝生產和繁殖過程到破壞。
3、滲透胞膜組織，侵入細胞膜內作用于外膜脂蛋白和內部的脂多糖，使細胞發生通透畸變，導致細胞溶解死亡。并且將死亡菌體內遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、枝原體及熱原(細菌病毒代謝產物、內毒素)等溶解變性滅亡。
二、活性炭吸附純水處理工藝
活性炭依靠吸附和過濾作用主要去除水中的異色、異味、余氯、殘留消毒物等有機物雜質。
三、薄膜微孔過濾(MF)純水處理工藝
薄膜微孔過濾法包括三種形式：深層過濾、篩網過濾、表面過濾。
深層過濾是以編織纖維或壓縮材料制成的基質，利用隋性吸附或是捕捉方式來留住顆粒，如常用的多介質過濾或砂濾;深層過濾是一種較為經濟的方式，可去除98%以上的懸浮固體，同時保護下游的純化單元不會被堵塞，因此通常做為預處理。
表面過濾則是多層結構，當溶液通過濾膜時，較濾膜內部孔隙大的顆粒將被留下來，并主要堆積在濾膜表面上，如常用的PP纖維過濾。表面過濾可去除99.9%以上的懸浮固體，所以也可作為預處理或澄清用。
篩網濾膜基本上是具有一致性的結構，就象篩子一般，將大于孔徑的顆粒，都留在表面上(這種濾膜的孔量度是非常的)，如超純水機終端使用的用點保安過濾器;篩網過濾微孔過濾一般被置于純化系統中的終使用點，以去除后的殘留微量樹脂片、碳屑、膠體和微生物。
