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SICK傳感器在引線工藝方面的表現

時間:2018-6-7閱讀:189

SICK傳感器在引線工藝方面的表現

SICK傳感器的引線工藝方面,由于采用銀漿和接線柱焊接,容易造成接點電阻不穩定。特別是在溫度發生變化時,接觸電阻更易變化,這些因素是造成傳感器零點時漂、溫漂大的原因。
要消除SICK傳感器的漂移問題我們可以金硅共熔焊接方法,將擴散硅和基座之間采用金硅共熔封接,因為金比較軟應力小,引壓管是玻璃管將之燒結到硅環上,玻璃管和底座用高溫膠粘接,為測表壓,在玻璃管外粘接一金屬管,通到大氣中。擴散硅電阻條組成惠斯登電橋,用高摻雜的方法形成導電,將電橋和分布在周邊的鋁電極可靠地連接起來,而不采用通常蒸鋁,反刻形成鋁帶的方法,這樣做有助于減小傳感器的滯后,鋁電極和接線柱之間用金絲壓焊和超聲焊,使接點處的電阻比較穩定。
通過一定的材料改進和工藝改進,在一定范圍內可以改善玻璃微融壓力傳感器的零點漂移和溫度漂移,但是從目前市場應用的反饋情況來看,玻璃微融壓力傳感器的穩定性還有很大改善的空間。
SICK傳感器都是基于一種彈性材料的形變,而彈性材料不論其多么優良,在每次彈性恢復后,總會產生一定彈性疲勞。由于彈性材料引起的漂移根據材質不同各不相同,但是合格的產品,都在規定的范圍之內。
此外,一種材料對壓力敏感的同時對溫度也敏感,任何材料都有其固有的溫度特性,由此引起的的SICK傳感器的輸出變化叫做溫度漂移。通常SICK傳感器都要進行溫度補償,利用另一種溫度特性相反的材料抵消溫度引起的變化,或者使用數字信號補償技術。
玻璃微融技術是擴散硅SICK傳感器發展的初期的一種粘接工藝,其本質上是一種擴散硅壓力傳感器,就是擴散硅芯片和金屬基座之間用玻璃粉封接,與傳統的應變片工藝類似,壓力芯片的周圍存在著較大的應力,即使經過退火處理,應力也不能*消除,同應變片粘貼工藝一樣,玻璃也存在“蠕變”。當溫度發生變化時,由于金屬、玻璃和擴散硅芯片熱澎脹系數的不同,會產生熱應力,使SICK傳感器的零點發生漂移。這就是為什么玻璃微融壓力傳感器的零點熱漂移非常大的重要原因。同時由于蠕變的存在,此種壓力傳感器的常溫零點也存在嚴重的時漂問答題。

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