旋片真空泵抽除含有水蒸氣或顆粒物質氣體時需求留意事項
旋片式真空泵的作業原理很簡單,就是運用旋片在泵腔內不斷滾動因為泵腔容積的改變來取得真空。因為旋片真空泵的作業液大都為真空油,所以在操作和運用進程中需求留意以下幾點:
1、假如所抽氣體含有許多的水蒸氣,在不考慮挑選水環泵或許真空機組的狀況下能夠挑選旋片泵,可是需求在旋片泵的進氣口接通一個冷凝器,然后使水蒸氣能夠冷卻變成水,然后進入泵內然后到達抽真空的目的。可是需求留意的一點是,因為冷凝器沒辦法把悉數的水蒸氣液化掉,所以在運用旋片泵的時分需求留意真空泵油的改變,假如發現真空泵油發生突變或許污濁或許乳化現象,應及時更換真空泵油,這樣才干保證旋片泵在作業的時分到達所要求的真空度,否則真空度會下降,乃至損壞真空泵。
2、假如所抽氣體中含有固體顆粒,又想挑選旋片泵的話,需求在旋片泵的進氣口管路中銜接上一個過濾器,這樣能夠有用的避免旋片泵因為顆粒物質導致真空度下降的問題,需求留意的是過濾器的合理挑選以及在運用進程中對過濾器的清潔
3、旋片泵不能抽除含氧過高的、有毒的、有爆炸性的浸蝕黑色金屬的和對真空油起化學作用的各種氣體,也不行做為壓縮機和輸送泵運用。如有氣鎮設備的泵,可抽除必定量的可凝汽體。
慣例真空工藝對環境的要求
所謂慣例真空工藝系指沒有特殊要求的真空工藝進程。這類真空設備(設備)對真空衛生的要求是:
①但凡處于真空狀況或真空中的真空設備的零件或外表,都要求無積存的污染源。外表無塵土、無鐵屑、無銹蝕。
②真空設備的真空室外表要潤滑,無松軟安排和氣孔,無死空間,內焊縫無影響真空的缺陷。
③高真空設備中,真空室內的運動部件不得用機油作潤滑劑,要用飽滿蒸氣壓低的分散泵油、硅油作潤滑劑。法蘭、大門、觀察窗的密封部位可涂以高真空油脂。
④無油超高真空體系(也稱“清潔的超高真空體系”)應避免油蒸氣影響作業介質的純度、外表特性或作業功能,為某種工藝進程供給清潔的超高真空環境。
超高真空金屬體系常用1 Cr18Ni9Ti為結構資料。有些部位可運用無氧銅、可伐合金、純金、純銀、鎢、祖、鋁、欽等。絕緣資料常用玻璃和95真空瓷。而高分子聚合物因為或許分解出碳氫化合物污染體系,不能運用。飽滿蒸氣壓較高的資料,如鋅及其合金也不能運用。
超高真空體系中資料的出氣是約束真空度上升的重要因素。一方面選用清洗、拋光、把零部件放在真空柜中保存或真空預熱除氣等辦法下降出氣速率,以改進資料的原始處理狀況。另一方面還能夠選用真空體系高溫烘烤除氣的辦法,加快資料的出氣進程,資料外表吸贊同吸收的氣體分子加快放出并被排出,冷卻后資料的出氣速率會下降幾個數量級。因而,關于一般需求到達10-7Pa以下壓力的真空體系,都必須烘烤除氣。
⑤真空設備一般應在溫度為15℃-30℃,相對濕度不高于70%的清潔的空氣流通的環境中作業,冷卻水進水溫度不高于250℃。
真空設備地點的實驗室或車間應堅持清潔衛生。地上為水磨石或木質涂漆地上、無塵土。為避免機械泵作業時排出的氣體對實驗室環境的污染,可選用在泵的排氣口上面裝設排氣管道(金屬、橡膠管)的辦法,將氣體排出室外。
真空設備資料要求
對真空設備殼體資料的首要要求如下:
①必定的機械強度;
②氣密性好,不應是多孔結構,不能有裂縫、小孔以及能形成漏氣的其它缺陷;
③較低的出氣速率和浸透速率;
④在作業溫度和烘烤溫度下的飽滿蒸氣壓要足夠低;
⑤化學穩定性好,不易氧化和腐蝕,不與體系中的作業液休(如油、汞)起化學作用;
⑥溫度穩定性好,在必定溫度規模內能堅持其真空功能及機械強度;
⑦加工簡單,有較好的焊接功能,價格便宜。
常用殼體資料有兩大類:金屬和玻璃。金屬的長處是:機械強度好;簡單完成高精度的加工。玻璃的長處是:通明,便于觀察設備內部狀況;電絕緣;可對內部的金屬零件用高頻加熱的辦法除氣、能用高頻火花槍檢漏;加工便利等。玻璃的缺陷是質脆易碎。
1.金屬及合金
金屬真空殼體資料首要有以鐵、銅、鋁為根底的金屬及合金。如:低碳鋼、不銹鋼、無氧銅、紫銅、鋁以及覆鋁、銅、鎳的鋼或鐵材。其間不銹鋼耐銹蝕,有較低的出氣速率,是常用的的超高真空殼體資料。氫在鋁中的分散速率低,故烘烤后的出氣速率低,是往后有期望發展的超高真空殼體資料。
2.玻玻和石英
玻璃的品種許多,從真空技術的視點來看,大體上可分為:石英玻璃、“硬”玻璃、“軟”玻璃三類。軟玻璃有較低的軟化溫度(490℃ -610℃)和較大的線膨脹系數(82x10-7K-1-92x10-7K-1)。硬玻璃有較高的軟化溫度(555℃一806℃)和較小的線膨脹系數(35x10-7K-1-50x10-7K-1)。石英玻璃軟化溫度高達1500℃,線膨脹系數只要5.8x10-7K-1。
因為軟玻璃價格便宜,氮浸透速率很低,所以常選作電子管的殼體資料,這類玻璃可與鉑絲、杜美絲封接。石英玻璃價格貴,氦浸透速率,只用在高溫設備和要求透過紫外光的真空設備中。硬玻璃軟化溫度適中,便于加工和烘烤除氣,耐溫差功能好,是真空技術中常用的玻璃,硬玻璃按不同的膨脹系數又可分為鎢組玻璃和鑰組玻璃。
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