當前位置：北京維意真空技術應用有限責任公司>>wayesvac>>PECVD多功能

PECVD多功能

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協議為準

產品型號

品牌

廠商性質生產商

所在地北京市

在線詢價收藏產品查看聯系電話

聯系方式：于磊查看聯系方式

更新時間：2017-10-16 14:38:27瀏覽次數：495次

聯系我時，請告知來自環保在線

產品分類 品牌分類

  wayesvac

全部產品列表

暫無信息

北京維意真空技術應用有限責任公司

經營模式：生產廠家

商鋪產品：79條

所在地區：北京北京市

聯系人：于磊（銷售部經理）

詢價 給他留言

產品簡介

團簇式PECVD
詳詢4006-521-586，或是登錄www.wayes-vac.com了解詳情
該系列PECVD系統具有固態等離子源、分開式反應氣體進氣系統，動態襯底溫控，全面控制真空系統，采用集中現場控制總線技術的“值守精靈"控制軟件，以及友好用戶操作界面來操作。適用于室溫至1400℃條件下進行的SiO2、SiNx,、 SiONx a-Si薄膜的沉積

詳細介紹

團簇式PECVD
詳詢4006-521-586，或是登錄www.wayes-vac。。ｃｏｍ了解詳情
該系列PECVD系統具有固態等離子源、分開式反應氣體進氣系統，動態襯底溫控，全面控制真空系統，采用集中現場控制總線技術的“值守精靈”控制軟件，以及友好用戶操作界面來操作。適用于室溫至1400℃條件下進行的SiO2、SiNx,、 SiONx a-Si薄膜的沉積，同時可實現TEOS源沉積，SiC膜層沉積以及液態或氣態源沉積其它材料，尤其適合于有機材料上高效保護層膜和特定溫度下無損傷鈍化膜的沉積。
清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染；上開啟結構，式樣觀察方便；觸屏人機對話整體性操作，安全可靠；;產品采用全自動控制方式，觸摸屏，數字化顯示；真空系統、工作壓強、電源系統及自動匹配、工藝氣體流量、加熱系統、運動系統、工藝過程、系統監控及數據采集等。

關鍵詞：數據采集