高溫化學氣相沉積系統

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產品型號PT-CVD-1700-60*300-F3

品牌

廠商性質生產商

所在地鄭州市

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更新時間：2025-05-12 11:14:03瀏覽次數：47次

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鄭州科佳電爐有限公司

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產品簡介

產品介紹：該高溫化學氣相沉積系統的工作溫度為300℃至1600℃，配備真空泵，氣體混合裝置

詳細介紹

產品介紹：
該高溫化學氣相沉積系統的工作溫度為300℃至1600℃，配備真空泵，氣體混合裝置。采用的溫度控制系統，高溫精度，出色的氣體流量精度，易于操作，出色的隔熱效果和溫度均勻性。主要用于大學，科研機構和生產企業進行氣相沉積相關的實驗與生產。

技術參數：

產品名稱		高溫化學氣相沉積系統
產品型號		PT-CVD-1700-60*300-F3
加熱部分	顯示	LED
	溫度	1700℃
	工作溫度	≤1600℃
	升溫速率	建議: 0~15℃/min (max. 20℃/min)
	加溫溫區	300mm
	加熱元件	硅鉬棒
	熱電偶	B 型
	控溫精度	±1℃
	爐管尺寸	60 x 900mm
	爐管尺寸	剛玉管
	溫度控制	PID自動控制
	升溫速率	30段可編程
	電壓	220V, 50 Hz, 單相功率： 4KW
	工作壓力	0.02MPa
真空部分	真空泵總成（旋轉葉片泵+擴散泵）包括KF25、KF50適配器、用于真空泵組的波紋管和帶輪子的移動柜。	冷態極限真空6.67*10-3Pa。
	真空測量	復合真空計。
	真空法蘭	帶閥和針的不銹鋼真空法蘭
質量流量計（3條氣體路線Ar、H2、CH4）	流量范圍	(20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM
	精確度	±1.5 % F.S.
	響應時間	≦10sec
	工作壓力差范圍	0.1~0.5MPa
	耐壓性	3MPa
	工作環境溫度	5~45℃
	輸入電壓信號	0 V ~ +5.00 V
	輸出電壓信號	0 V ~ +5.00 V

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