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流化床CVD系統

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產品型號KJ-CVD-DZ

品牌

廠商性質生產商

所在地鄭州市

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更新時間：2025-05-12 08:45:33瀏覽次數：24次

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鄭州科佳電爐有限公司

經營模式：生產廠家

商鋪產品：208條

所在地區：河南鄭州市

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產品簡介

產品介紹：該系統以硅碳棒為加熱元件，采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端用不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，真空泵接口，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點

詳細介紹

產品介紹：
該系統以硅碳棒為加熱元件，采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端用不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，真空泵接口，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點。
結構組成：
定制流化床CVD系統，由真空立式管式爐、供氣系統、真空系統、真空測量系統組成。

應用范圍：
廣泛應用于半導體工業中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。

技術參數：

產品名稱	流化床CVD系統
產品型號	KJ-CVD-DZ
立式管式爐
爐膛模式	立式開啟式
爐膛材料	進口氧化鋁耐火纖維
加熱元件	優質硅碳棒
極限溫度	1400℃
工作溫度	≤1300℃
升溫速率	≤20℃(建議:15℃/min)
加熱溫區	單溫區、多溫區
溫區總長度	200、300、440
爐管材質	高純石英管、剛玉管
爐管直徑	40、50、60、80、100mm......
密封方式	304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)
控制模式	多段智能PID程序控溫預留通訊接口
控溫精度	±1℃
溫度曲線	多段"時間—溫度曲線"任意可設
測溫元件	K型熱電偶
氣路系統
工作電壓	220V/50HZ
輸出功率	18W
工作溫度	5--45℃
氣體通道	可同時連接多種氣源
流量計	質量流量計
A路量程	0～500SCCM
B路量程	0～500SCCM
C路量程	0～500SCCM
.....	.....
氣路壓力	-0.1～0.15 MPa
截止閥	不銹鋼材質
氣體連接管	1/4不銹鋼管
數顯真空計及連接件
數顯真空計	數顯真空計安裝在不銹鋼法蘭上
真空泵組(相關連接配件)
真空泵	真空泵,及相應連接管件 220V/50HZ
認證	、CE認證
售后服務	質保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍）

1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。