從1904年意大利在Larderello地熱田利用干蒸汽發電試驗成功，成為世界上從事地熱發電早的國家，并于1913年建成*臺工業用的250kW地熱發電機組，成為地熱發電商業化的開端。到2000年，已有21個國家從事地熱發電工作，總裝機容量達7974.06MW，年發電量為49261.45GWh。
回顧100年來世界地熱發電的歷史，我們看到，早期地熱發電進展極為緩慢，這可能是由于資源和技術方面的原因所造成。20世紀60年代以后，許多有地熱資源的國家開始假造地熱電站，因此有了較快發展。
與此同時，用以發電的地熱資源，除干蒸汽外，還有地熱濕氣和地熱水也用以發電。由此也產生了與之相適應的各種地熱發電的能量轉換系統，以便有效地利用各種地熱資源。由于地熱發電的主機是汽輪機，所用工質是蒸汽，因此用以發電的各種地熱流體后必須以干蒸汽狀態進入汽輪機，以進行熱工轉換。
從這個意義上講，在各種能量轉化系統中，地熱干蒸汽發電是簡單的發電系統（包括背壓式及凝汽式兩種）；對地熱濕蒸汽發電，基本的能量轉換系統有：從濕蒸汽中將汽水分離，然后用分離蒸汽發電；還有一種是把分離出來的地熱水也用以發電，方法是采用閃蒸系統，即將熱水在閃蒸器中降壓閃蒸產生部分低壓蒸汽，然后用以發電。地熱水發電還有另一種能量轉換系統，即利用地熱水對低沸點工質加熱，使之變成蒸汽，然后利用低沸點工質蒸汽來發電，即所謂“雙工質循環地熱發電系統”。
上述這些地熱發電的能量轉換系統，還可根據地熱資源的不同情況，組成各種新的系統，而且它們將隨著地熱發電技術的發展而發展。在目前的地熱發電技術中，應用較為廣泛的是擴容式蒸汽發電技術，其系統簡單，地熱參數要求低。在低溫地熱資源的開發利用過程中，雙工質循環和卡琳娜循環技術具有廣闊的發展前景。
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