配合反滲透設備，EDI超純水設備要將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率約10～18.3MΩ.cm極限值。

EDI純水設備

 工藝流程：

原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點。

EDI超純水制取設備，工業EDI超純水設備出水水質*符合我國電子工業部電子級水質技術標準（18MΩ.cm、15MΩ.cm、 10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準）、我國電子工業部高純水水質試行標準、美國半導體工業用純水指標、日本集成電路水質標準、國內 外大規模集成電路水質標準。

工業EDI的應用領域：

    zui近幾年電去離子在各個工業領域都越來越受重視，許多工業系統開始采用EDI作為其水處理系統的更新換代技術，如電力工業、制藥工業、微電子工業、電鍍與金屬表面處理等。

（１）電力工業

    據推算電力行業水處理單元的操作費用約占電力成本的10％，而用工業EDI替代離子交換樹脂可以使每處理1000加侖水的成本由11美元降至1.75美元。

（２）制藥工業

    雖然藥用水的特點是并不要求很高的去離子程度，但電去離子系統具有同時去鹽和控制微生物指標的特點，因此已有多家企業采用RO/EDI集成系統。據稱該類系統性能穩定，全流程計算機連續監控，全自動操作無人值守。

〔３〕電子工業

    電子工業對水質的要求*，水電阻率要穩定的大于18MΩ,而工業EDI出水一般在15-17 MΩ左右，因此在電子級水的生產過程多采用EDI＋拋光樹脂系統，即在EDI之后加離子交換，此工程雖然仍需離子交換，但由于EDI已除去了大部分離子， 拋光樹脂幾乎不用再生，因此水處理費用仍然很低。

（４）電鍍與金屬表面處理
    電去離子可用于電鍍廢水處理可以使水重復使用并回收重金屬離子。美國已有該類型系統的實驗裝置。

EDI與傳統混床的比較：