1859年克希霍夫研究太陽光譜時開始原子熒光理論的研究。
196年,Winefordner和Κuga首先提出用原子熒光光譜（AFS)作為分析方法的概念。1969年,Holak研究出氫化物氣體分離技術(shù)并用于原子吸收光譜法測定砷。
1974年,Tsujiu將原子熒光光譜和氫化物氣體分離技術(shù)相結(jié)合，提出了氣體分離-非色散原子熒光光譜測定砷的方法，這種聯(lián)合技術(shù)就是現(xiàn)代常用氫化物發(fā)生-原子熒光光譜（HG-AFS)。
1982年郭小偉（西北有色地質(zhì)研究所）和張錦茂（地礦部物化探研究所）兩個研究小組合作，研制成功了世界上以溴化物無極放電燈作激發(fā)光源的“WYD^2型蒸氣發(fā)生-雙道原子熒光光譜儀"。該儀器采用微波激發(fā)無極放電燈作為激發(fā)光源、自行研制的高溫石英管原子化器、間斷法氫化反應(yīng)發(fā)生器，可同時測定兩個可形成氫化元素及汞原子的原子熒光光譜儀。與此同時，張錦茂、范凡等開展了地球化學(xué)樣品中As，Sb，Bi，Hg等兩種元素同時測定分析方法的研究，取得了令人滿意的分析結(jié)果。使其成為地礦部開展《20萬區(qū)域化探全國掃面計劃》找礦的重要配套儀器及分析方法，隨即將科研成果迅速地轉(zhuǎn)化為商品化儀器，按地礦部統(tǒng)一部署轉(zhuǎn)讓給北京地質(zhì)儀器廠。
1985年開始由北京地質(zhì)儀器廠和江蘇寶應(yīng)儀器進(jìn)樣系統(tǒng)以小蠕動泵為主并投入批量生產(chǎn)。
1995年以郭小偉為首西北有色金屬研究院成立金索坤技術(shù)有限公司。
1996年北分瑞利公司與原子熒光光譜專家張錦茂合作，成功研制以蠕動泵為主的原子熒光；隨后北京東西電子研究所也推出以蠕動泵為主的原子熒光。
1998年，加拿大Aurora公司也推出了一款蒸氣發(fā)生-原子熒光光譜儀，該儀器的性能基本上接近于我國早期同類型儀器的水平。所以國外原子熒光水平和國內(nèi)至少相差15年左右。
1999年，北京有色金屬研究院為了進(jìn)一步提高空心陰極燈的輻射強(qiáng)度，滿足原子熒光分析高靈敏度的需求，在我國早期吳廷照、高英奇研制成功的原子吸收高性能空心陰極燈[13]基礎(chǔ)上結(jié)合原子熒光的特點(diǎn)，研制成功了用于原子熒光的“高性能空心陰極燈"。一直沿用至今。
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