首先要了解其國家標準:高純水也是有級別的，他被人們分成電子級和普通級，兩者的標志分別為EH和PH。電子級的一般適用于制造工藝領域;普通級的一般適用于電力半導體器件的制造中。電子級的水又可以分為兩個級別:特級(EH-T)和I級(EH-I);普通級的水則分為三個級別:I級(PH-1)、X級(PH-2)、M級(PH-3)。
同時還要了解高純水蒸餾器的工作原理。進入EDI系統的原水是向兩個不同的方向流動的，其主要部分流入了樹脂或膜的內側，還有極少數的水則沿著膜版流向了外側。從而來洗去透出膜外的離子，而樹脂則會截留住水中的離子。那些被樹脂截留的離子會在電極的作用之下，陽離子向著負極的方向運動，陰離子向著正極的方向運動。然后通過膜流出樹脂外。
高純水蒸餾器在制取之前首先要經過測試和檢驗。用電導率儀器來測量水電阻時電導池常數應該選成0.1-0.01CM-1，被檢測的水應當處于封密流動狀態，從本質避免混入其他任何氣體，其流速應當在0.3米每秒以上。在檢驗時，各個級別的純水電阻率均為正常的必測項目。對于電子級的水用水單位還應根據生產要求的各項技術指標的檢驗規則。在其制水終端以及用水點按要求進行檢驗之后，如果水質合格的話，應當附標有高純水的級別標志、相關的技術指標和檢驗結果、制水單位、連續供水的開始日期、檢驗員簽章及檢驗日期等檢驗合格證。我們都知道高純水設備是用來制取超出水的，而且它是通過反滲透設備制取純水的基礎上通過電除鹽技術(即:EDI技術)從而制取出高純度的水。
高純水在取樣時盛水容器必須使用塑料或硬質玻璃容器。用于測定硅或分析痕量成分時。必須使用聚乙烯等塑料容器;采集水樣時，應先把管道中的積水放盡，并沖放5-10min，在流動狀態取樣。以保證水樣有充分的代表性;取樣的體積約為容器體積的0.6-0.8，不得太滿。取樣后。應迅速把容器蓋嚴。
