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石英管式微波等離子體發生裝置M242973
| 參考價 | 面議 |
- 型號 HF19SYG
- 品牌
- 廠商性質 生產商
- 所在地 北京市
更新時間：2017-12-30 04:22:45瀏覽次數：449
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石英管式微波等離子體發生裝置（普通型，不含安裝調試，國產） 型號:HF19SYG
庫號：M242973
石英管式微波等離子體裝置
是我廠專門為大學和研究機構設計的小型化產品，可用于薄膜材料的制備和等離子體物理等方面的研究工作，并且特別適宜于大中專學校的材料、化學工程與工藝、物理等的學生實驗。該裝置利用微波能激勵稀薄氣體放電在石英管中產生穩態等離子體，通過通入不同的工作氣體，可進行功能薄膜材料的制備、化學合成、表面刻蝕、等離子體診斷等多方面的實驗。
1 主要配置
1. 2.45GHz，0~500W微波功率連續可調，可滿足不同實驗的要求；
2. ф50mm的石英管真空室，帶有一個觀察窗和一個診斷窗口，各種實驗方便進行；
3. 石英管采用水冷卻，可裝置在高功率條件下安運行；
4. 配置了3路氣體管路，氣體流量控制方便；真空測量系統及控制閥門可真空室所需的真空環境。
2 典型實驗
1. 等離子體化學氣相沉積
A（氣）+B（氣）→ C（固）+D（氣）
反應氣體A、B被激發為等離子體狀態， 其活性基團發生反應生成所需要的固態物沉積在基片上，可用于薄膜或納米材料的合成。如金剛石薄膜氮化碳薄膜、碳納米材料等。
2. 等離子體表面刻蝕
A（氣）+B（固）→ C（氣）
反應氣體A 被激發為等離子體狀態與固體B表面原子發生反應生成氣態物C，可用于集成電路的刻蝕實驗。
3. 等離子體催化反應
利用等離子體中豐富的活性成分，如紫外和可見光子、電子、離子、自由基；高反應性的中性成分，如活性原子，受激原子態，從而引發在常規化學反應中不能或很難實現的化學反應。
4. 等離子體表面改性
A（氣）+B（固）→ C（固）
反應氣體A 被激發為等離子體狀態與固體B表面發生反應生成新的化合物從而達到改變B物質表面性質的目的。可用于高分子材料、金屬材料及材料的表面改性實驗。
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