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石英管式微波等離子體發(fā)生裝置M242973
參考價 | 面議 |
- 型號 HF19SYG
- 品牌
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
- 所在地 北京市
更新時間:2017-12-30 04:22:45瀏覽次數(shù):447
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石英管式微波等離子體發(fā)生裝置(普通型,不含安裝調(diào)試,國產(chǎn)) 型號:HF19SYG
庫號:M242973
石英管式微波等離子體裝置
是我廠專門為大學(xué)和研究機構(gòu)設(shè)計的小型化產(chǎn)品,可用于薄膜材料的制備和等離子體物理等方面的研究工作,并且特別適宜于大中專學(xué)校的材料、化學(xué)工程與工藝、物理等的學(xué)生實驗。該裝置利用微波能激勵稀薄氣體放電在石英管中產(chǎn)生穩(wěn)態(tài)等離子體,通過通入不同的工作氣體,可進行功能薄膜材料的制備、化學(xué)合成、表面刻蝕、等離子體診斷等多方面的實驗。
1 主要配置
1. 2.45GHz,0~500W微波功率連續(xù)可調(diào),可滿足不同實驗的要求;
2. ф50mm的石英管真空室,帶有一個觀察窗和一個診斷窗口,各種實驗方便進行;
3. 石英管采用水冷卻,可裝置在高功率條件下安運行;
4. 配置了3路氣體管路,氣體流量控制方便;真空測量系統(tǒng)及控制閥門可真空室所需的真空環(huán)境。
2 典型實驗
1. 等離子體化學(xué)氣相沉積
A(氣)+B(氣)→ C(固)+D(氣)
反應(yīng)氣體A、B被激發(fā)為等離子體狀態(tài), 其活性基團發(fā)生反應(yīng)生成所需要的固態(tài)物沉積在基片上,可用于薄膜或納米材料的合成。如金剛石薄膜氮化碳薄膜、碳納米材料等。
2. 等離子體表面刻蝕
A(氣)+B(固)→ C(氣)
反應(yīng)氣體A 被激發(fā)為等離子體狀態(tài)與固體B表面原子發(fā)生反應(yīng)生成氣態(tài)物C,可用于集成電路的刻蝕實驗。
3. 等離子體催化反應(yīng)
利用等離子體中豐富的活性成分,如紫外和可見光子、電子、離子、自由基;高反應(yīng)性的中性成分,如活性原子,受激原子態(tài),從而引發(fā)在常規(guī)化學(xué)反應(yīng)中不能或很難實現(xiàn)的化學(xué)反應(yīng)。
4. 等離子體表面改性
A(氣)+B(固)→ C(固)
反應(yīng)氣體A 被激發(fā)為等離子體狀態(tài)與固體B表面發(fā)生反應(yīng)生成新的化合物從而達到改變B物質(zhì)表面性質(zhì)的目的。可用于高分子材料、金屬材料及材料的表面改性實驗。
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