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邁可諾技術有限公司
腔體直徑 | 8英寸 (202 毫米 |
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SPIN德國勻膠機150i型適應于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。MYCRO的SPIN系列勻膠機具有穩定的轉速和快速的啟動,可以保證半導體中膠厚度的*性和均勻性,這正是SPIN150i型勻膠機的特點。
SPIN德國勻膠機150i型(spin coater)的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
三、勻膠機主要性能指標:
1、腔體直徑:8英寸 (202 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-160mm直徑的材料,4英寸方片;
3、轉速范圍: 1~12000RPM**,±1rpm steps;
4、加速度:30000RPM/S;
5、轉速精度: ±0.1rpm;
6、程序段數:無限制;
7、操作步數:無限制;
8、旋轉時間:無限制*,±0.1 Second steps;
9、旋轉方向:順時針,逆時針,交換擺動;
10、擴展接口:1個USB接口;
11、馬達保護:20-50kPa,2-5l/min,Tube OD Ø 6mm(可關閉);
12、排廢連接:1” M-NPT;
13、觸屏控制:全彩觸摸屏控制界面;
產品相關關鍵字: 勻膠機 旋涂儀 鍍膜機 勻膠臺 甩膠機 |
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