電子生產車間有機廢氣處理設備揮發性有機物（VOCS）是一類重要的空氣污染物,通常是指沸點50~260、室溫下飽和蒸氣壓超過133.132kPa的有機化合物,包括烴類、鹵代烴、芳香烴、多環芳香烴等。

2活性炭吸附法 可使用吸附能力較強的活性炭類物質，吸附有機廢氣中的有害物質，此種方法凈化率較高，且對設備的投資較小；

3吸收液吸收法 即將有機廢氣鼓入含相應吸收劑的吸收液中，從而截留有機分子的方法，注意吸收液飽和后須及時更換。

電子生產車間有機廢氣處理設備

針對電子行業 VOCs排放特點采用相應末端治理技術，主要還是吸附法、焚燒法，吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，吸附劑選擇性高，活性炭屬非極性吸附劑，對非極性化合物有較強的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs，凈化效率可達到90%以上。沸石濃縮轉輪+焚燒方法使用的濃縮輪是一個裝滿吸附劑的旋轉輪，廢氣由旋轉輪的上游側進入濃縮輪的吸附區，使VOCs得到濃縮，再經脫附燃燒處理，去除效率可在98%。但是相對來說投資就比較高了，有很多的企業無法接受動輒上百萬的廢氣處理投資。