1、吸附：
有機廢氣經過濾器除去固體顆粒物質，由上而下進入吸附罐，有機物被活性炭捕集、吸附并濃縮，凈化的空氣從罐體下部經主風機排入大氣。
2、解吸
當活性炭吸附有機物達到飽和狀態后，停止吸入有機廢氣。通過活性炭床向上送入蒸汽進行吹脫，將有機物自活性炭中逐出，即解吸。罐中活性炭恢復其活性，即再生。
3、熱風干燥及冷卻：
用蒸汽解吸后的活性炭層中，約留有80～90%的蒸汽凝液，填充了活性炭內孔，從而降低了炭層的活性。因此，通入熱空氣對炭層進行干燥。然后關閉蒸汽閥門，再通入常溫空氣，冷卻至25℃左右，活性炭恢復如初，以備再循環使用。
4、有機溶劑回收：
利用有機溶劑露點溫度較高的特點，將蒸汽和有機溶劑的混合物引入冷凝器，使其冷凝，冷凝液經疏水閥進入分離器，利用溶劑比水輕的特點，分離回收。
5、凝水凈化：
為保證冷凝水的潔凈，避免有機溶劑的凝水排入水體，在分離器內分離后的水中通入壓縮空氣，使水中有機溶液劑充分解脫。被壓縮空氣逐出的含有機物空氣折返廢氣系統，重新吸附。凈化后的冷凝水，排入下水道。
6、連續吸附措施：
在連續生產的工廠中，吸附系統也需相應連續工作，可在廢氣凈化系統設計中，選用雙罐系列，以便吸附、再生交替連續使用。
7、再生周期：
再生周期應根據凈化后排氣中有害氣體濃度而定。當有害氣體濃度接近超標數值時，即應停止吸附，進行再生。幫系統初始工作階段需及時測定排出口有害氣體濃度，以便掌握合理吸附再生周期。
