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常用的有機廢氣處理方法有光氧催化、低溫等離子、微波催化、催化燃燒、活性炭吸附等，這些有機廢氣因所處行業、濃度不同適合于不同的處理方法。
光氧催化氧化處理法：利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，使有機或無機高分子化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，與臭氧進行反應生成低分子化合物
活性炭吸附法處理法：利用吸附劑的吸附功能使有機廢氣物質由氣相轉移至固相，適用于處理低濃度，高凈化要求的有機廢氣。
低溫等離子體廢氣處理法：等離子體內部產生富含*化學活性的粒子，廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。
催化燃燒法廢氣處理法：在高溫下有機廢氣物質與燃料氣充分混和，在催化劑實現*燃燒。
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