HEPA是High Effieiency Particulate Air Filter的縮寫(xiě)。美國(guó)于1942年成立了專(zhuān)門(mén)的過(guò)濾器開(kāi)發(fā)組,開(kāi)發(fā)出木纖維,石棉、棉花的混合材料,其過(guò)濾效率達(dá)到了99.96%,即為現(xiàn)在的HEPA的雛形。隨后又開(kāi)發(fā)了玻璃纖維混合濾紙并且在原子技術(shù)方面得到了應(yīng)用,zui終確定該材料針對(duì)0.3μm粒子(DOP測(cè)定法,DOP的兩組分相接觸時(shí)就生成了0.3μm的塵源)具有99.97%以上的捕集效率,并命名為HEPA過(guò)濾器。當(dāng)時(shí)制做濾料的材料是纖維素,但該材料存在耐火性和吸濕性差的問(wèn)題;其間也曾用石棉作為過(guò)濾材料,但石棉會(huì)產(chǎn)生致癌性物質(zhì),所以現(xiàn)在的濾器的濾料則以玻璃纖維為主流。
[ULPA(Ultra Low Penetration Air Filter,ULPA):隨著超規(guī)模集成電路的發(fā)展,人們又開(kāi)發(fā)出了針對(duì)0.1μm粒子(塵源仍是DOP)的超過(guò)濾器,其過(guò)濾效率達(dá)到了99.99995%以上,命名為ULPA過(guò)濾器。ULPA與HEPA相比,濾料結(jié)構(gòu)更緊湊、過(guò)濾效率更高。ULPA暫時(shí)主要用于電子行業(yè),在制藥和醫(yī)療部門(mén)尚未見(jiàn)到應(yīng)用的報(bào)告。]?