氧氣是重要的工業氣體，廣泛應用于鋼鐵、有色冶金、化工、爐窯節能、環保(污水處理、垃圾焚燒等)、玻璃、造紙、醫療等行業。二十世紀九十年代鋰分子篩吸附劑出現，變壓吸附空分制氧迅速發展成為一種低成本制氧新技術并開始得到廣泛應用。
真空變壓吸附制氧(VPSA-O2) 經鼓風機鼓風輸送低壓的原料空氣(25-39kPa)，凈化除去粉塵后進入VPSA-O2系統吸附塔。吸附塔為兩塔或三塔體系，吸附塔產品氣為氧氣。空氣中的氮氣、二氧化碳、水蒸氣被吸附達到設定控制值后，由于吸附壓力較低，先通過常壓解吸，再經過真空泵抽真空達到一定真空度，使吸附塔內吸附劑雜質*脫附再生。由兩塔或三塔組成的吸附分離制氧系統，在PLC或DCS (數據控制系統)的控制下，程序控制閥循環切換完成連續制氧。該流程通常稱真空變壓吸附制氧流程(VPSA-O2)。
技術特點及優勢：
1.原料氣適應性好
采用高效一氧化碳吸附劑PU-1，可從氮或甲烷含量高的原料氣中分離出高純度一氧化碳。
2.產品一氧化碳成本低
裝置工藝先進，產品收率高、原料用量少、配套設備負荷小，生產成本低。
3.一氧化碳質量高
產品一氧化碳純度高(zui高可達99.99%)、雜質含量小，對下游生產非常有利，可帶來明顯的經濟效益。
4.可對用戶原有裝置進行改造
在不增加操作費用的前提下，可使國內原有變壓吸附裝置的一氧化碳產量和質量大幅度提高。
