ANT130-XY系列雙軸納米平移臺

1.結(jié)構(gòu)緊湊的納米平移臺
2.大行程實現(xiàn)納米定位
3.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（50納米），定位精度（250納米）
4.3納米的位置穩(wěn)定性
5.抗爬行十字交叉滾珠軸承
6.高動態(tài)特性

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ANT130-L-Z系列納米垂直平移臺

1.大行程實現(xiàn)納米定位
2.高分辨率（2納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（300納米）
3.2納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性

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ANT130-R系列直驅(qū)旋轉(zhuǎn)臺

1.高分辨率（0.01角秒）
2.高性能
3.的跳動指標
4.的定位性能
5.高動態(tài)特性
6.多軸結(jié)構(gòu)

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ANT180-L系列納米平移臺

1．非接觸，無齒槽，無摩擦，直接驅(qū)動
2．零背隙，無磁滯現(xiàn)象
3．抗爬行十字交叉滾珠軸承
4．zui大360毫米行程
5．高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（100納米），定位精度（150納米）
6．完整的多軸電纜管理系統(tǒng)

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ANT95-XY-Ultra系列雙軸納米定位平臺

1.集成低框架XY直線電機平臺，25mm*25mm或50mm*50mm行程
2.實現(xiàn)大行程納米定位
3.定位穩(wěn)定性<1納米
4.二維系統(tǒng)精度為250納米
5.高動態(tài)性能

ANT130-XY-Ultra系列雙軸納米定位平臺

1.集成低框架XY軸直線電機平臺
2.實現(xiàn)大行程納米級定位
3.二維系統(tǒng)精度為250nm
4.定位穩(wěn)定性<1納米
5.高動態(tài)性能

ANT95-V系列提升臺

1.實現(xiàn)3mm垂直行程的納米級定位
2.高分辨率（1nm），重復(fù)定位精度（100nm），精度（200nm）
3.定位穩(wěn)定性<1納米
4.抗蠕動交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)性能

ANT130-V系列提升平臺

1.實現(xiàn)5mm垂直行程的納米級定位
2.高分辨率（2nm），重復(fù)定位精度（100nm），精度（200nm）
3.定位穩(wěn)定性<2納米
4.抗蠕動交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)性能

ANT-20G系列擺角臺

1.非接觸，無齒槽，零背隙或無磁滯無摩擦直接驅(qū)動
2.高速（150°/s）
3.高分辨率（0.05角秒）
4.杰出的定位穩(wěn)定性
5.20°大旋轉(zhuǎn)角度
6.兩支架正交安裝提供繞同一點旋轉(zhuǎn)
7.無需維護
8.緊湊型設(shè)計