氣體質(zhì)量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller（meter））縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制的設(shè)備。
S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計)特點：
*采用主體不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON®、聚四氟乙烯等
*適用于各種腐蝕性氣體
*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準(zhǔn)
*高精度
*重復(fù)性好
*響應(yīng)速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠
*低壓降
*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安裝
*便于與計算機(jī)連接實現(xiàn)自動控制。
S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計)主要應(yīng)用領(lǐng)域：
*半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制
*分析儀器設(shè)備的氣體計量與控制
*各種形式的真空鍍膜設(shè)備
*環(huán)境檢測與分析設(shè)備
*化工、石化、食品行業(yè)氣體流量監(jiān)測和控制
*特種材料表面處理裝置與燃燒控制
*混氣配氣系統(tǒng)和泄漏探測系統(tǒng)等
2．S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計)型號
本產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術(shù)條件及命名方法。
質(zhì)量流量計主要精確測量氣體流量，質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計的功能還具備自動控制氣體流量的功能。
型式批準(zhǔn)證書:2011F215-11
執(zhí)行Q/CYHMT001-2011企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
許可證編號：京制01050063號
3．主要技術(shù)指標(biāo)
質(zhì)量流量控制器(流量計)出廠通常用氮氣（N2）標(biāo)定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為: 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) mL/min (毫升/分鐘) (SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)L/min （升/分鐘） (SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:溫度 --- 0℃
氣壓 — 101325 Pa
F.S (Full Scale):表示滿量程值
表1 S49 33M/MT型質(zhì)量流量控制器(流量計)技術(shù)指標(biāo)
編號 | 項目 | S49 33/MT |
1 | 流量規(guī)格 | (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min | (15,20,30) L/min |
2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
3 | 調(diào)節(jié)閥靜止位置 | 常閉 |
4 | 準(zhǔn)確度 | ± 1.0% F.S | ± 2.0% F.S |
5 | 線性 | ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S |
6 | 重復(fù)精度 | ±0.2 %F.S |
7 | 響應(yīng)時間 | ≤8 s（T95） |
8 | 工作壓差范圍 | (50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa |
9 | 耐壓 | 3 MPa ﹑ 10 MPa |
10 | 工作環(huán)境溫度 | 5℃ ～ 45℃ |
11 | 材料 | 不銹鋼316L |
12 | 標(biāo)準(zhǔn)密封材料 | Viton®﹑EPDM, 或其他 |
13 | 漏率 | 1×10-8 Pa.m3/s |
14 | 接頭 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其它 |
15 | 輸入輸出信號 | 0 V ～ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) |
16 | 電源 | +15 V 50 mA -15V 200 mA |
17 | 外形尺寸 mm | 134×134×38 |
18 | 重量 kg | 1.2 |
注意： S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計)分不同的流量范圍，供用戶選擇，也可根據(jù)用戶提出流量定制。
