SIMCO離子風棒5635

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產品型號5635

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更新時間：2022-06-07 15:29:39瀏覽次數：575次

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廣思科技（深圳）有限公司

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產品簡介

簡介
5635型MP離子風棒，是對應用在先端半導體制造工程等100nm以下的微小型顆料除靜電器。
特點：

詳細介紹

簡介

5635型MP離子風棒，是對應用在先端半導體制造工程等100nm以下的微小型顆料除靜電器。

特點：

Ø 采用在世界上的電極材料單晶硅的優勢，避免超低顆料特性的電極材料的重金屬污染的風險。

Ø 通過*的MP（脈沖調制）方式，可以有效的發揮離子除電性能。

Ø 平衡的電位，即使是在距100mm的距離也可用使用的特性及靜電桿長且離子平衡度好。

Ø 通過智能控制電路，可自動管理離子發生狀態及離子平衡度。

Ø 1/4圈可以拆卸更換電極，有助于減少維護工時。

Ø 電位波動小的MP方式的特性，簡化了組裝。另外，電位波動小可以保持離子平衡度在管理的基準內。

Ø 設定了適合半導體前工序EFEM用的除靜電棒長度。

Ø 內置24V DC驅動控制器的小巧緊湊型設計。

Ø 可用于高層次網絡。

產品規格

輸入電壓	24V DC + / -10％
輸出電壓	zui大可調至約13.5kv PP
安裝距離	100毫米?1000毫米（無空氣凈化）
離子生成方式	電暈放電法 PM（脈沖變調）方式變動頻率　1 ～　33 Hz
離子平衡度	自動平衡調節方法 <+/-10V內離子風棒直下根據位置的不同會有差異<+/-10v （600 mm距離）
電極	單晶硅電極可更換
吹氣	清潔干燥的空氣或氮氣
zui大氣壓力	310Kpa
臭氧產生量	<0.05PPM（24時總值）
信號輸出	報警IO 電極輸出
尺寸	高78mm寬34mmt長（如下值） 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750 / 1900/2050/2200/2350Mm
外觀	ABS樹脂