儀器的精度決定著儀器的性能，也關乎著儀器技術水平的高低。一般來說，儀器的精度可以根據國家標準、行業規范、研制任務或者的使用者需求等來確定，但不能忽略的就是使用需求，這是儀器精度的確定的重要依據。計量儀器精度一般取總使用要求的1/10，高精度儀器取1/3。但這僅僅是一般而言，儀器還會受到環境誤差、運行誤差等影響。儀器系統誤差一般不應該大于儀器總誤差的1/3，否則就需要修改方案或是采取補償。
儀器的誤差的大小直接決定了儀器精度的高低，誤差越小精度越高，目前大概有4中誤差分配方法，一種是等公差法，即對各個誤差源均給以相同的公差值，但是由于儀器部件制造難易不同，這樣的誤差源傳遞系數不應該一樣，所以這種方法并不合理。比等公差法略有改進的是等影響法，考慮了傳遞系數的影響，令誤差源對儀器總誤差的貢獻相同。但是由于沒有考慮工藝條件，所以也不夠完善。根據經驗為誤差分配方案，能夠對某些關鍵性環節實驗數據得知瞄準誤差，而不必再等待分配。目前來說，先進的方法就是優化設計方法，主要是設置目標函數，即儀器單次測量的總誤差。再設計變量，即儀器測量鏈上各環節的誤差以及構造參數。后通過約束條件，構成有約束極小化問題，進而達到切實可行的誤差分配。
