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廣電計量檢測集團股份有限公司

HMDS真空烘箱,HMDS處理系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號HMDS-90
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2016/7/4 22:58:04
  • 訪問次數2754
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業從事儀器設備研發、生產、銷售及服務的企業。主要生產半導體工藝設備、環境模擬儀器設備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設備、黑蒜設備等的高新技術型企業,具有很強的自主開發、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環保、農業,建筑,節能等行業;多年來,公司以“真摯的服務、優質的品質”為宗旨,為國內外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內外客戶的*好評,更為我們業務的快速發展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業務有HMDS預處理系統,HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發酵設備,導體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機,橡塑檢測試驗機等。
    不斷追求技術進步、提升專業服務能力,做一個專業的儀器設備供應商是我們的發展目標。企業內部實施了CRM、ERP項目管理,在產品開發、質量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務管理等諸多方面取得了長足發展。同時建立了標準化的服務流程,形成了覆蓋全國的快速服務網絡,以盡心盡責的服務理念和完備的技術得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會,以飽滿的熱情、真誠的服務與您共創燦爛的未來!






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HMDS與硅片反應機理如圖:首先加熱到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS與表面的OH一反應,在硅片表而生成硅醚,消除氫鍵作,從而使極性表面變成非極性表面。
HMDS真空烘箱,HMDS處理系統 產品信息

HMDS真空箱,HMDS系統真空烘箱技術參數:

電源電壓:AC 220V±10%/50Hz±2%

輸入功率:2400W

控溫范圍:室溫+10-250

溫度分辨率:0.1

溫度波動度:±0.5

達到真空度:133Pa

容積:90L

工作室尺寸(mm):450*450*450

 

HMDS真空箱,HMDS系統真空烘箱的一般工作流程:

    首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內真牢度達到某一高真空度后,開始充人氮氣,充到達到某低真空度后,冉次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設定的充入氮氣次數后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空,充入HMDS氣體,在到達設定時間后,停止充入HMDS藥液,進入保持階段,使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后,再次開始抽真空。充入氮氣,完成整個作業過程。HMDS與硅片反應機理如圖:首先加熱到100-200,去除硅片表面的水分,然后HMDS與表面的OH一反應,在硅片表而生成硅醚,消除氫鍵作,從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻*基硅烷基較大阻止其進一步反應。

    尾氣排放等:多余的HMDS蒸汽(尾氣)將由真空泵抽出,排放到廢氣收集管道。在無廢氣收集管道時需做專門處理。

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