GIST超純氣體過濾器專為電子級(jí)氣體超純凈化開發(fā)設(shè)計(jì),過濾精度可達(dá)3nm,設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊,強(qiáng)度高,與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性,特別適用于用于惰性氣體和反應(yīng)性氣體的過濾。
產(chǎn)品特色
• 316L 不銹鋼電子級(jí)拋光外殼
• 高通量低壓損
• 優(yōu)異的化學(xué)相容性
• 耐高溫、高壓
• 100%完整性測(cè)試
• 100%氦氣泄漏測(cè)試
• 潔凈室制造和包裝