主要特點:箱體選用全陶瓷纖維保溫,具有升溫快、節能等特點,優良的送風、排風系統,確保爐箱溫度均勻,吸風口玻纖過濾器,確保潔凈度的要求。
一、技術指標與基本配置:
1、潔凈度:Class100級
2、氧含量(配氧分析儀):
高溫狀態氧含量:≤ 10ppm +氣源氧含量;
低溫狀態氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量
3、使用溫度:RT~400℃,溫度:450℃
4、溫度均勻度:150℃±1.5%,350℃±2%以內(空載測試);
5、空爐升溫時間:1.5h;
6、空爐降溫時間:375℃--80℃;降溫時間1.5-3.5小時 (采用水冷及風冷);
7、智能控制系統:日本歐姆龍PCL+PC工控電腦

