5軸水平多關節型潔凈機械手臂特點： |
可用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關節潔凈機械手臂GTCR5000系列 |
單臂雙手指結構能夠實現和雙臂結構同樣的功能 |
適用于300mm半導體生產設備內部，檢測設備等的晶圓搬運 |
機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm |
機械手臂可以單獨對應2個FOUP（210mm臂長） |
或者3個FOUP（280mm臂長） |
雙手指結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間 |
適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式 |
配備動作監視器 |
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用值編碼器規格的AC伺服電機 |
通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優化 |
能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓 |
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式 |
手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質 |
可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供的手指 |
5軸水平多關節型潔凈機械手臂基本參數： |
使用環境 | 潔凈間內的大氣環境 |
手臂 | 單臂 |
到達距離 | 553mm (手臂第3關節中心到達距離) |
升降軸行程 | 300mm / 400mm / 500mm |
可搬運質量 | 4kg (手臂第3關節處基準) |
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