真空腔體氣體傳感器主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電化學信號測試。真空腔體氣體傳感器可擴展模塊較多，該腔體設計有進氣口和抽真空接口和4-8芯信號真空電極及真空計接口，上部安裝有φ80石英觀察片方便觀察樣品和光學用途。

1、測試腔、控溫及加熱系統 

測試夾具要求：可實現XYZ移動；

測試腔：同時滿足靜態/動態測試，304不銹鋼材質，可在紫外燈下保證氣密性測試；

測試樣品數：同時測試8個樣品，可進行頻率-阻抗測試、插指電極和場效應管測試；

測量溫度：室溫---300 ℃

控溫精度：±1 ℃

顯示精度：±0.1 ℃

測溫傳感器：PT100

升溫斜率：1-10 ℃/min

通訊類型：RS485

加熱功率：500 W

測試腔容積<2 L

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