電感耦合等離子體質譜儀的工作原理
電感耦合等離子體質譜儀(ICP-MS)工作原理是根據被測元素通過一定形式進入高頻等離子體中，在高溫下電離成離子，產生的離子經過離子光學透鏡聚焦后進人四極桿質譜分析器按照荷質比分離，既可以按照荷質比進行半定量分析，也可以按照特定荷質比的離子數目進行定量分析。該類型質譜儀主要由離子源、質量分析器和檢測器三部分組成，還配有數據處理系統、真空系統、供電控制系統等。
常用的進樣方式是利用同心型或直角型氣動儀器產生氣溶膠，在載答氣載帶下噴入焰炬，樣品進樣量大約為1ml/min，是靠蠕動泵送入儀器的。
儀器將溶液樣品送入等離子體光源，在高溫下汽化,解離出離子化氣體,通過銅或鎳取樣錐收集的離子,在低真空約帕壓力下形成分子束,再通過1～2毫米直徑的截取板進入四極質譜分析器，經濾質器質量分離后，到達離子探測器，根據探測器的計數與濃度的比例關系,可測出元素的含量或同位素比值。
電感耦合等離子體質譜儀(ICP-MS)
電感耦合等離子體質譜儀(簡稱ICP-MS)，是20世紀80年代發展起來的一種新的微量(10-6)、 痕量 (10-9)和超痕量(10-12) 元素分析技術。可測定元素周期表中大部分元素，極低的檢出限、極寬的動態線性范圍、譜線簡單、干擾少、精密度高、分析速度快、可提供同位素分析。
ICP-MS
ICP-MS全稱電感耦合等離子體質譜（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry），可分析幾乎地球上所有元素（Li-U）。
ICP-MS技術是80年代發展起來的新的分析測試技術。它以將ICP的高溫（8000K）電離特性與四極桿質譜計的靈敏快速掃描的優點相結合而形成一種新型的強有力的元素分析、同位素分析和形態分析技術。
該技術提供了極低的檢出限、極寬的動態線性范圍、譜線簡單、干擾少、分析精密度高、分析速度快以及可提供同位素信息等分析特性。
自1984年臺商品儀器問世以來，這項技術已從在地質科學研究的應用迅速發展到廣泛應用于環境保護、半導體、生物、醫學、冶金、石油、核材料分析等領域。被稱為當代分析技術激動人心的發展。
