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廣電計量檢測集團股份有限公司

日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀

參考價 550000
訂貨量 ≥1000
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱深圳九州工業(yè)品有限公司
  • 品       牌
  • 型       號ME-210/ME-
  • 所  在  地深圳市
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時間2023/4/7 8:59:19
  • 訪問次數(shù)1186
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深圳九州工業(yè)品有限公司,坐落于深圳市,是一家工業(yè)品綜合服務商。主要包括機電設備、電子產(chǎn)品、儀器儀表、工業(yè)器材的銷售及其它國內(nèi)貿(mào)易、經(jīng)營進出口等業(yè)務。搭建工業(yè)品供應鏈,采用與 MRO分銷商結(jié)盟的方式,把零散采購訂單集中處理,流程簡化,提供一站式供應服務。在美國、德國、日本、韓國、中國臺灣建專業(yè)國際采購團隊、技術(shù)顧問、銷售團隊為各種領(lǐng)域提供各類高品質(zhì)的工業(yè)產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的整合服務。通過與廠家建立快捷、有效的溝通,和眾多國外生產(chǎn)廠家建立了長久合作伙伴關(guān)系。










設備
日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀ME-210/ME-210-T
這是一款高速映射橢圓儀,可以測量 φ8″ 晶圓的整個表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測量。
日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀 產(chǎn)品信息

日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀ME-210/ME-210-T

日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀ME-210/ME-210-T


這是一款高速映射橢圓儀,可以測量 φ8″ 晶圓的整個表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測量。

規(guī)格

  • 測量

重復性
  • 膜厚:0.1nm
    折射率:0.001 *SiO2膜的一點(膜厚:約100nm)重復測量100次時的標準偏差值。

測量速度
  • 最大測量速度
    900 點/分鐘以上(寬模式,測量 100 平方毫米面積時)
    5,000 點/分鐘或以上(高清晰模式,測量 1 平方毫米面積時)

光源
  • 半導體激光器(振蕩波長636nm)

測量點
  • 廣域模式:0.5 平方毫米
    高清模式:5.5 微米平方

入射角
  • 70度

尺寸
(寬 x 深 x 高)
  • 270×337×最大631mm

兼容透明基材
  • 兼容 ME-210-T
    不兼容 ME-210


  • 住房

舞臺尺寸
  • 支持最大 8 英寸晶圓
    (最大 ?300 mm 可選)

尺寸
(寬 x 深 x 高)
  • ME-210-T 650×650×1744mm
    ME-210 650×650×1740mm

重量
  • 約200公斤

界面
  • GigE(相機信號)


  • 其他的

界面
  • GigE(相機信號)

電源
  • AC100-240V

軟件
  • ME-視圖

配件
  • 臺式電腦、顯示器、使用說明書、標準樣品


關(guān)鍵詞:顯示器 橢圓儀
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