一、產(chǎn)品概述
采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補(bǔ)償。
二、技術(shù)參數(shù)
1.測量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
2.流量范圍：DN3 30-300ml/min
DN6 60-600ml/min
DN8 80-800ml/min
DN10 100-1000ml/min
注：(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言；
(b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃，101.325kPa。
(c) 每個口徑量程范圍均可擴(kuò)大
(d)特殊需要可聯(lián)系我們單獨標(biāo)定
3.流量測量準(zhǔn)確度：±1.5%FS；±2.5%FS
4.工作溫度范圍：0-55℃；
5.工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
6.供電電源：24VDC±10%；
7.輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
8.環(huán)境溫度：0-55℃；
9.顯示位數(shù)：瞬時流量為三位，累積流量10位。
三、 工作原理
uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作，保證傳感器的高度一致，解決了：“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計無法保證其傳感器的電阻值的一致性，導(dǎo)致傳感器在各個法線方向熱傳導(dǎo)速度的差異，所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計在傳感器校準(zhǔn)和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)大定性存在問題，實際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計價格昂貴，大規(guī)模應(yīng)用比較難”的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計，同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。
在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo)，使動態(tài)響應(yīng)時間大大提高。當(dāng)傳感器工作時，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算：
式中：氣體流動方向為ｘ，速度為ｖ，ａ為擴(kuò)散率。
如上圖（式）所示，當(dāng)氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應(yīng)關(guān)系來計算流體的質(zhì)量流量。
四、產(chǎn)品特點
1.產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門。
2.μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù)，使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升。
3.微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。
4.單個芯片的流量特性的微處理技術(shù)，使流量計的量程范圍大大提高。
5.機(jī)電一體化優(yōu)化設(shè)計，智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，使流量計具有更好的重復(fù)性，實現(xiàn)了計量的準(zhǔn)確、可靠。
5.結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，MFM流量計的壓力損失達(dá)到最小化。
6.采用新的MF傳感技術(shù)，使流量計工作更穩(wěn)定、可靠。
7.零點自校功能，測量更準(zhǔn)確。
8.多種氣體實際標(biāo)定，全量程補(bǔ)償。
9.快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動存儲，配合上位機(jī)可實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理。
10.規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨標(biāo)定。
11.精度等級高，滿足用戶高精度測量要求。
12.的流量計報警功能，使監(jiān)控更可靠。
13.操作、設(shè)置界面友好、簡便，可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)。
14.運用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的。
五、產(chǎn)品選型
| 型號 | 代號 | 說明 |
| HLMF | — | 微氣體質(zhì)量流量計 |
| 類型 | M | 質(zhì)量流量計 |
| C | 質(zhì)量流量控制器 | |
| 產(chǎn)品通徑 | 03 | DN3 |
| 06 | DN6 | |
| 08 | DN8 | |
| 10 | DN10 | |
| 流量范圍 | ||
| 被測介質(zhì) | ||
| 壓力 | 0 | ≤0.3Mpa |
| 1 | ≤0.6Mpa | |
| 2 | ≤1.0Mpa | |
| 材質(zhì) | 0 | 304不銹鋼 |
| 1 | 316不銹鋼 | |
| 2 | 316L不銹鋼 | |
| 3 | 鋁 | |
| 4 | 其他 | |
| 顯示與輸出 | 01 | 有顯示；有485通訊口；有4-20mA輸出 |
| 02 | 有顯示；有485通訊口；無4-20mA輸出 | |
| 03 | 有顯示；無485通訊口；有4-20mA輸出 | |
| 04 | 有顯示；無485通訊口；無4-20mA輸出 | |
| 05 | 無顯示；有485通訊口；無4-20mA輸出 | |
| 05 | 無顯示；無485通訊口；有4-20mA輸出 | |
| 標(biāo)定方式 | 0 | 空氣 |
| 1 | 氫氣 | |
| 2 | 氧氣 | |
| 3 | 氮氣 | |
| 連接形式 | 0 | 快速接頭 |
| 1 | 法蘭式 | |
| 接頭類型 | 0 | 普通 |
| 1 | Swagelok接頭 | |
| 2 | 其他 |
七、儀表的機(jī)械尺寸
| 口徑 | L | D | H | G |
| DN3 | 74 | 30 | 127 | G1/8 |
| DN6 | 74 | 30 | 127 | G1/4 |
| DN8 | 90 | 30 | 127 | G3/8 |
| DN10 | 130 | 35 | 127 | G1/2 |
