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成儀PECVD系統(tǒng)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱河南成儀實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司
品牌
型號(hào)PE-12100C
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2022/9/1 16:50:17
訪問(wèn)次數(shù)239

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

成儀的開(kāi)始源于2009年，由名不見(jiàn)經(jīng)傳的小團(tuán)隊(duì)，逐步發(fā)展成為一個(gè)正規(guī)化的中型企業(yè)，成儀始終以創(chuàng)造用戶價(jià)值為目標(biāo)，一路創(chuàng)業(yè)創(chuàng)新，在2014年掛牌成立了成儀實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司，專注于研發(fā)銷售實(shí)驗(yàn)室熱處理設(shè)備。作為集研發(fā)、生產(chǎn)、貿(mào)易于一體迅速發(fā)展的高科技公司，成儀公司始終致力于為國(guó)內(nèi)材料研究事業(yè)提供技術(shù)產(chǎn)品。公司成立之目的就是為了引進(jìn)國(guó)外爐業(yè)設(shè)計(jì)技術(shù)，整合國(guó)內(nèi)行業(yè)資源，根據(jù)用戶實(shí)際條件和需求提供與之匹配的熱處理相關(guān)設(shè)備。無(wú)論有技術(shù)要求還是經(jīng)費(fèi)有限之用戶都能用上技術(shù)*的實(shí)驗(yàn)電爐。公司覆蓋專業(yè)包括材料學(xué)、化學(xué)、物理、電子、熱力學(xué)等；目前已通過(guò)*和CE認(rèn)證；我公司主要產(chǎn)品包括實(shí)驗(yàn)室管式爐、箱式爐、真空氣氛爐、LED熒光粉燒結(jié)爐、氧化鋯義齒燒結(jié)爐等，所研發(fā)銷售的實(shí)驗(yàn)室電爐設(shè)備均為國(guó)內(nèi)的技術(shù)產(chǎn)品，目前已將產(chǎn)品出口到美國(guó)、韓國(guó)及東南亞和中東等地。用24小時(shí)全天候的售后服務(wù)為每個(gè)用戶提供技術(shù)支持和質(zhì)量保障

展開(kāi)顯示更多內(nèi)容

真空管式電阻爐

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

型號(hào)：PE-12100C用途：使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積（CVD）反應(yīng)溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng).規(guī)格：特點(diǎn)：

成儀PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

成儀PECVD系統(tǒng)(PE-12100C)

圖片1.png

PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積（CVD）反應(yīng)溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng)，所以這個(gè)系統(tǒng)稱為增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）。

該型號(hào)PECVD為成儀款，綜合了國(guó)內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)，在PECVD前端加入了氣體預(yù)熱區(qū)，實(shí)驗(yàn)證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。而且控制部分采用了成儀自主研發(fā)的實(shí)驗(yàn)電爐AIO全自動(dòng)智能控制系統(tǒng)，使得操作更加簡(jiǎn)便，功能更加強(qiáng)大。

主要特點(diǎn)：

1. 氣體預(yù)熱——增加前端氣體預(yù)熱區(qū)，沉積速度更快，成膜效果更好；

2. AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個(gè)7英寸觸摸屏進(jìn)行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控，協(xié)調(diào)控制——成儀AIO控制系統(tǒng)；

3. 管內(nèi)壓力自動(dòng)平衡——管內(nèi)壓力實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，自動(dòng)平衡管內(nèi)壓力。

4. 智能氣路通斷——每路氣體均可定時(shí)通斷，省時(shí)省力；

5. 射頻功率和開(kāi)關(guān)定時(shí)控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開(kāi)與關(guān)閉的時(shí)間，自動(dòng)運(yùn)行；

6. 爐膛移動(dòng)速度可調(diào)——根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求，用戶可設(shè)定爐膛左右移動(dòng)的速度可距離；

7. 整機(jī)結(jié)構(gòu)融為一體——移動(dòng)方便，避免分散組裝的困擾。

詳細(xì)參數(shù)：

	加熱爐部分
1	爐膛模式	開(kāi)啟式爐膛
2	顯示模式	7英寸觸摸屏
3	極限溫度	1400℃
4	工作溫度	≤1350℃
5	升溫速率	建議10℃/Min Max：30℃/Min
6	加熱溫區(qū)	3溫區(qū)
7	單溫區(qū)長(zhǎng)度	150 mm
8	爐管規(guī)格	100*2000 mm
9	控溫精度	±1℃
10	密封方式	快速法蘭密封
11	溫度曲線	30段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)
12	預(yù)存曲線	可預(yù)存15條溫度曲線
13	超溫報(bào)警	有
14	過(guò)流保護(hù)	有
15	斷偶提示	有
16	測(cè)溫元件	s型熱電偶
17	爐膛材料	氧化鋁纖維
18	外形尺寸	26008601400MM
	射頻電源功率
1	信號(hào)頻率	13.56 MHz±0.005%
2	功率輸出范圍	5W-300W
3	功率穩(wěn)定度	±0.1%
4	諧波分量	≤-50dbc
5	供電電壓	單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ
6	整機(jī)效率	>=70%
7	功率因素	>=90%
8	冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷
9	真空部分
10	工作電電壓	220V±10% 50~60HZ
11	功率	500W
12	抽氣速率	4Ls
13	進(jìn)氣口口徑	KF25
14	排氣口口徑	KF25
15	轉(zhuǎn)速	1450rpm
16	噪音	55dB
17	極限真空	4X10-2Pa
	氣路系統(tǒng)
1	1,2氣路采用DB07K系列
	準(zhǔn)確度：±1.5%
	重復(fù)精度：±0.2%
	響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
	工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa
2	3路采用高精度CS200系列
	準(zhǔn)確度：±0.35%FS ±1.0%SP
	線性：±0.5%FS
	重復(fù)精度：±0.2%FS
	響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1Sec

	整機(jī)系統(tǒng)特色
1	正壓測(cè)量	-100Kpa---100Kpa
2	真空測(cè)量	10-2Pa ～100Kpa（支持Ar測(cè)量）
3	正壓保護(hù)	支持
4	壓力恒定	支持
5	智能氣路	支持
6	氣路定時(shí)	支持
7	射頻工作時(shí)間設(shè)定	支持
8	移動(dòng)速度調(diào)節(jié)	支持
9	系統(tǒng)真空度	4.8×10-3Pa