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FPM濃度計,CS-153

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具體成交價以合同協議為準

公司名稱堀場儀器（上海）有限公司
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廠商性質生產廠家
更新時間2022/8/12 14:45:58
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FPM濃度計,CS-153

FPM濃度計,CS-153 產品信息

概要
規格

概要

CS-153是一款高精度的化學藥液濃度計，適用于半導體制造中濕法蝕刻制程的嚴苛要求。蝕刻制程使用FPM藥液刻蝕二氧化硅和去除晶圓表面的顆粒。CS-153可持續監測FPM藥液(HF/H2O2/H2O)中各個成分，在每一次藥液需要替換或補充時向用戶發出信號。因此可使FPM藥液的濃度保持在一個適當的范圍中并可避免不必要的藥液替代。

特征

監測周期大約為3秒，支持300mm工藝的濃度管理

實現了以大約2秒為監測周期(*)的高速響應。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。

*不包含藥液的置換時間、冷卻時間

小巧化設計有利于節省清洗裝置的空間由于底面面積只有原來的2/3(*)左右，這種小巧化設計有利于清洗裝置節省空間。可以很容易地組裝到清洗裝置中。

*和本公司產品CS-327系列進行比較

通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產量

通過濃度計的信號輸出，進行FPM溶液的補給控制，從而實現高再現性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進產量的全面提高。

全自動監測與簡易控制

用戶只需引入FPM溶液即可。監測是全自動方式，因此開始監測后不需要進行任何控制。另外，由于參照光譜測量時使用的是空氣，所以不需要用水。

通過采取全面的氣泡對策

在脫泡槽中分離氣泡，在監測過程中進一步利用電磁閥把氣泡混入監測單元內的發生次數抑制在限度。

采用DC24V，實現高安全性

電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發生。并且，由于內置漏水傳感器，在發生漏水時可以切斷SC-1溶液的供應等，采取緊急措施。

規格

型號規格	CS-153: 無冷卻單元 CS-153C: 冷卻單元一體型
測量樣品	FPM(HF/H2O2藥液)
測量原理	吸收光譜測定法
濃度計算原理	溫度補償型多變量解析法
測量范圍	HF: 0.00至10.00% H₂O₂: 0.00至10.00% H₂O: 80.0至100.0% 如需其它量程信息，請與HORIBA聯系。
再現性 (峰-峰)	TMAH: ± 0.30% H₂O₂: ± 0.30% H₂O: ± 2.0%
藥液條件	CS-153: 溫度: 20至30°C 流量: 20至60 mL/min. 壓力: 0.10至0.20 MPa CS-153C: 溫度: 20至80°C 流量: 20至40 mL/min. 壓力: 0.10至0.20 MPa
測量周期	最小約 2 秒 (不包含藥液的置換時間和冷卻時間)
設備溫度	20 至25°C
操作面板	1) 溫度值顯示: HF、過氧化氫、水 2) 報警信號的顯示(HF、過氧化氫)：濃度下-下限、濃度下限、濃度上限、濃度上-上限 3)報警信號值的設定(HF、過氧化氫)：濃度下-下限、濃度下限，濃度上限、濃度上-上限
串行輸入/輸出	RS-232C 1) 濃度數據: HF、過氧化氫 2)報警信號值的設定(HF、過氧化氫)：濃度下-下限、濃度下限、濃度上限、濃度上-上限并行輸入DC12?30V(光電耦合器絕緣) 并行濃度報警(ON/OFF)
并行輸出	開路集電極輸出為ON 時的電流：5mA 開路集電極輸出為OFF時的電壓：30V 1)報警信號輸出(TMAH、過氧化氫)：濃度下-下限、濃度下限、濃度上限、濃度上-上限 2)裝置異常 3)漏液
模擬輸出	4?20mA(2輸出：TMAH濃度、H₂O₂濃度的2輸出) *與量程規格技術規格無關，可以使4?20mA輸出對應于0?10%濃度。(請在訂貨時)
電源	24 V DC ± 10%, 2 A
外形尺寸	CS-153: 205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm CS-153C: 291 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm
重量	CS-153: 約11 kg CS-153C: 約12 kg
連接配管尺寸	導入用、排出用外徑均為3mm(內徑均為2mm )
配管接頭	Nippon Pillar Super型